【技术实现步骤摘要】
本技术属于靶材加工，涉及一种靶材水道槽的加工夹具，尤其涉及一种溅射靶材水道槽加工工艺的夹具。
技术介绍
1、铝合金密度低，轻度高，接近或超过优质钢，塑性好，可加工成各种型材，具有优良的导电性、导热性和抗蚀性，因此铝合金在工业上得到广泛使用，广泛应用于自动化机械零件、精密加工、模具制造、电子及精密仪器等。
2、随着产品工艺的不断升级，铝合金产品为例达到良好的抗高温变形性能，内部采用复杂水道结构设计，连续不断的冷却水可以带走铝合金产品表面大量的热量，实现铝合金产品持久的抗高温变形能力，从而提高铝合金产品使用寿命，节约成本。
3、但在实际生产过程中，铝合金水道槽的加工存在余量大、产品易滑出、加工时间长、产品易变形、产品定位困难、水道槽与blank孔位角度错位等难题，且部分采用手动分钟定心，压板定位产品，水道槽与blank孔位只能靠眼睛估计，存在操作精度差，安全性低等问题。
4、为解决上述问题，亟需设计开发一种靶材水道槽的加工夹具，以满足实际操作需求。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述加工夹具包括夹具本体，所述夹具本体的一侧表面同轴开设有阶梯型凹槽；
2.根据权利要求1所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述夹具本体为圆柱本体。
3.根据权利要求2所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述圆柱本体为铝柱。
4.根据权利要求1所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述夹具本体的直径为600～610mm；
5.根据权利要求1所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述第一凹槽的宽度为477～478mm；
6.根据权利要求1所述的靶材水道槽的...
【技术特征摘要】
1.一种靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述加工夹具包括夹具本体，所述夹具本体的一侧表面同轴开设有阶梯型凹槽；
2.根据权利要求1所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述夹具本体为圆柱本体。
3.根据权利要求2所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述圆柱本体为铝柱。
4.根据权利要求1所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述夹具本体的直径为600～610mm；
5.根据权利要求1所述的靶材水道槽的加工夹具，其特征在于，所述第一凹槽的宽度为477～478mm；
...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，张吉权，魏小林，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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