一种靶材组件的丝套安装方法技术

本发明专利技术提供一种靶材组件的丝套安装方法，包括先后进行的钻孔和丝套安装；所述钻孔的深度贯穿于靶材组件的背板，并延伸至靶材组件的靶材内部；所述丝套安装的位置处于靶材内部，且采用的丝套为盲孔型自攻丝套；所述盲孔型自攻丝套包括丝套本体，所述丝套本体沿轴向开设有连接通道，所述连接通道的内表面开设有内螺纹，所述丝套本体的外表面开设有外螺纹，且所述外螺纹的表面开设有盲孔，所述盲孔的深度小于丝套本体的厚度。本发明专利技术提供的丝套安装方法避免了金属屑卡在排屑槽内，降低了处理成本，缩短了生产周期，提高了生产效率，有利于大规模推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于靶材溅射，涉及一种靶材组件的安装方法，尤其涉及一种靶材组件的丝套安装方法。

技术介绍

1、在靶材溅射过程中，随着靶材使用量的增加，靶材会被逐渐地损耗掉。若靶材下方固定的背板露出后，会导致背板上的原子被溅射出来，进而沉积在待成膜的基板上，最终对基板上沉积的膜层造成不利影响。更有甚者，若背板也被溅射穿透后，由于溅射腔室内仍然在进行放电溅射，会导致设备被高能离子束击穿，从而对设备造成严重损害。

2、设备预防维护(preventive maintenance，即pm)计划对靶材的使用寿命至关重要，需要及时地更换靶材。然而，现有生产过程中所设定的靶材寿命仅是通过生产经验获得的，并且由于不同设备之间的差异性，导致所设定的靶材需要更换的使用时间仅能作为参考，存在较大误差，往往会出现靶材使用过量或使用不够充分的情况。

3、在整个生产过程中一枚靶材会经过多次拆卸机台进行pm，在多次拆卸过程中，由于靶材背板材质较软，所以为了增加内螺纹的强度，工作人员一般会使用内嵌自攻丝套嵌入底孔中形成高强度的内螺纹孔，从而保护有色金属螺纹，用于紧密螺纹连本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种靶材组件的丝套安装方法，其特征在于，所述丝套安装方法包括先后进行的钻孔和丝套安装；

2.根据权利要求1所述的丝套安装方法，其特征在于，所述钻孔的角度垂直于靶材组件的背板表面，且钻孔的深度延伸至靶材内部1/4-3/4厚度处。

3.根据权利要求1或2所述的丝套安装方法，其特征在于，所述钻孔的数量为至少2个，且钻孔的位置均匀分布于靶材组件的背板表面。

4.根据权利要求1-3任一项所述的丝套安装方法，其特征在于，所述盲孔型自攻丝套的高度与靶材内部的钻孔深度相同。

5.根据权利要求1-4任一项所述的丝套安装方法，其特征在于，所述盲孔型自攻丝套...

【技术特征摘要】

1.一种靶材组件的丝套安装方法，其特征在于，所述丝套安装方法包括先后进行的钻孔和丝套安装；

2.根据权利要求1所述的丝套安装方法，其特征在于，所述钻孔的角度垂直于靶材组件的背板表面，且钻孔的深度延伸至靶材内部1/4-3/4厚度处。

3.根据权利要求1或2所述的丝套安装方法，其特征在于，所述钻孔的数量为至少2个，且钻孔的位置均匀分布于靶材组件的背板表面。

4.根据权利要求1-3任一项所述的丝套安装方法，其特征在于，所述盲孔型自攻丝套的高度与靶材内部的钻孔深度相同。

5.根据权利要求1-4任一项所述的丝套安装方法，其特征在于，所述盲孔型自攻丝套的外径超过靶材内部的钻孔直径0.1...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，陈玉蓉，王学泽，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：