本技术提供一种长寿命钛靶材，所述长寿命钛靶材的溅射面包括中心凸台和设置在中心凸台周围的周边凸台；所述周边凸台包括沿着中心凸台依次向外排列的第一凸台、第二凸台和第三凸台。本技术所述的长寿命钛靶材，通过在靶材溅射面特殊设置了不同尺寸的凸台，...

本技术提供了一种管状靶材模具用夯实装置，所述管状靶材模具用夯实装置包括圆环形的夯实板；所述夯实板包括由上至下依次同心设置的第一夯实板和第二夯实板；所述第一夯实板和第二夯实板之间设置有连接棒；所述连接棒的轴向与夯实板的轴向平行；所述第一夯...

本发明涉及一种钨硅合金靶材的制备方法，所述制备方法包括：将钨粉和硅粉混合后进行压合，之后热压烧结，得到钨硅合金靶材；其中，所述压合包括依次进行的第一压合和梯度超声压合；所述梯度超声压合中压力和超声功率同步递增。本发明提供的制备方法，通过...

本发明属于靶材孔位检测技术领域，公开了一种孔位实装检具及其靶材孔位的检查方法，孔位安装检具，用于靶材孔位检查，孔位安装检具包括检具本体和检具组件，检具本体上设置有安装槽，检具组件包括若干个定位柱，若干个定位柱均设置于安装槽中，且定位柱与...

本发明提供了一种平面靶材的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)将组装后的平面靶材焊接组件置于包套中并将包套密封；(2)对步骤(1)所述密封后的包套进行热等静压扩散焊接，冷却后去除包套，然后对平面靶材焊接组件进行激光焊接，得到平面靶...

本发明提供一种防止脆性靶材开裂的方法，所述方法包括如下步骤：(1)在背板上加工凹槽后，对所述凹槽依次进行第一喷砂处理和第一涂抹焊料处理，得到处理后背板；(2)将拆分为5块的脆性靶坯的焊接面依次经第二喷砂处理和第二涂抹焊料处理后与步骤(1...

本发明提供一种圆柱形工件的缺陷检测装置及其缺陷检测方法，所述缺陷检测装置包括：用于盛放溶剂的容器；超声波检测装置，所述超声波检测装置设置有可沿圆柱形工件的一个端面指向另一个端面的方向前进和/或后退的超声波检测探头；用于使圆柱形工件绕中心...

本发明提供了一种锡蒸发料的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)冷轧锡锭至目标厚度，得到锡板；(2)喷砂处理步骤(1)所得锡板的表面，得到喷砂锡板；(3)冲压步骤(2)所得喷砂锡板，得到冲压料；(4)研磨步骤(3)所得冲压料，然后进...

本发明提供一种大尺寸管状靶材包套及其用途，所述大尺寸管状靶材包套包括从内至外依次设置的锥形内包套管、防粘连垫片和外包套管；所述锥形内包套管的锥度为1:20～1:25；所述大尺寸管状靶材包套的长度为3～4m。本发明所述的大尺寸管状靶材包套...

本发明涉及一种异形靶材加工的辅助夹具及其制备方法，所述辅助夹具包括基板，所述基板的顶面两端分别焊接有第一立板与第二立板，所述第一立板与第二立板的中轴线分别垂直于基板的顶面；所述第一立板与第二立板的顶面分别开设有定位孔，所述定位孔内焊接有...

本技术提供了一种挂装夹具，所述挂装夹具包括夹具本体和连接件，夹具本体包括第一横板、第一竖板和第二横板，第一横板的一端和第一竖板的一端垂直连接，第一竖板的另一端和第二横板的一端垂直连接，第一横板和第二横板平行，夹具本体由第一横板、第一竖板...

本技术提供了一种靶材溅射用聚焦环。所述靶材溅射用聚焦环为开口设置的环状结构，所述环状结构的外表面设置至少两个固定件；所述环状结构包括相对的第一开口和第二开口；所述第一开口的端部设有第一凸起，所述第二开口的端部设有第二凸起，所述第一凸起和...

本技术提供了一种晶粒腐蚀装置，所述晶粒腐蚀装置包括设置在移动装置上的反应箱体和收集装置，反应箱体设置在收集装置的顶部，收集装置用于收集反应箱体内物质反应后的残留物；反应箱体的底部为锥形结构，锥形结构包括大端和小端，小端朝向收集装置设置，...

本技术提供了一种半导体环件的保护壳，所述保护壳包括活动连接的上壳和下壳，所述下壳朝向上壳的一侧设置有第一环形凹槽，所述上壳朝向下壳的一侧设置有第二环形凹槽，所述第一环形凹槽和所述第二环形凹槽对接形成的环形空间用于放置半导体环件；所述第一...

本技术提供了一种溅射靶材，所述溅射靶材的溅射面上以中心为基准，由内至外依次设置有凹区、凸台、第一平台和第二平台；所述第一平台的厚度＞凹区的厚度；所述第二平台的厚度＜凹区的厚度。本技术提供的溅射靶材通过对溅射面的形状设计，使靶材材料的利用...

本技术提供了一种用于溅射靶材的背板，所述背板包括背板焊接面以及与所述背板焊接面相背的背板冷却面；所述背板冷却面设置有第一凹槽；所述第一凹槽包括圆柱形凹槽；所述第一凹槽的侧面边缘设置有第一圆弧形倒角，且靠近所述背板焊接面的方向。所述用于溅...

本技术涉及产品测量技术领域，具体公开了测量探头及三坐标测量机。该测量探头包括固定座、探头壳、测头座和测针主体；固定座开设有容置槽，容置槽的侧壁均布有若干盲孔，弹性件置于盲孔内，两端分别弹性连接于盲孔的孔底与限位件，弹性件用于推动限位件远...

本发明属于热处理设备技术领域，公开了热处理料架，包括翻转机构，翻转机构包括两个夹持部和两个转动件，两个夹持部相对设置，且两个夹持部用于配合夹持产品相对的两侧边沿，产品包括加工面，两个转动件分别与两个夹持部转动连接，两个转动件转动的方向相...

本发明涉及一种MoTiNi合金用于ICP‑OES分析的制样方法，所述制样方法包括以下步骤：混合MoTiNi合金和混酸溶液，然后依次进行加热和冷却，得到样品溶液；所述混酸溶液中氢氟酸、硝酸和盐酸的体积比为(0.5‑1.5):2:(1.5‑...

本发明涉及一种MoTiNb合金用于ICP‑OES分析的制样方法，所述制样方法包括以下步骤：混合MoTiNb合金和混酸溶液，然后依次进行加热和冷却，得到样品溶液；所述混酸溶液中氢氟酸、硝酸和盐酸的体积比为(3‑5):2:(1‑3)。本发明...