【技术实现步骤摘要】
本技术涉及产品测量，尤其涉及测量探头及三坐标测量机。
技术介绍
1、三坐标测量机是20世纪60年代发展起来的一种新型高效的精密测量仪器。它的出现，一方面是由于自动机床、数控机床高效率加工以及越来越多复杂形状零件加工需要有快速可靠的测量设备与之配套；另一方面是由于电子技术、计算机技术、数字控制技术以及精密加工技术的发展为三坐标测量机的产生提供了技术基础。
2、三坐标测量机是基于坐标测量的通用化数字测量设备。它首先将各被测几何元素的测量转化为对这些几何元素上一些点集坐标位置的测量，在测得这些点的坐标位置后，再根据这些点的空间坐标值，经过数学运算求出其尺寸和形位误差。
3、在实际应用中，为了适应不同测量情况下的各种半导体靶材的检测需要，往往要根据实际的情况选择合适的测针。现有技术中，三坐标测针常选用球头测针，球头测针的最小直径是0.5mm，当待测产品的轮廓深度小于0.5mm时，球形点不到轮廓，只能点到倒角，导致测出来的凹槽宽度偏大而不合格，致使测量探头无法正常检测。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供测量探头及三坐标测量机，使测针可以点到待测产品的侧面，满足了对轮廓深度小于0.5mm的待测产品的检测需求，提升了检测数据的合格率。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、测量探头，用于测量待测产品的凹槽结构，包括固定座、探头壳、测头座和测针主体；所述固定座开设有容置槽，所述容置槽的侧壁均布有若干盲孔，弹性件置于所述盲孔内，所述弹性件
4、作为测量探头的优选技术方案，所述收纳槽的槽顶周向设有若干弹性爪，每两个相邻的所述弹性爪之间设有收缩槽。
5、作为测量探头的优选技术方案，所述弹性爪朝向所述收纳槽的一侧凸设有夹持凸起。
6、作为测量探头的优选技术方案，所述环形槽为弧形槽，所述限位件为球形件，所述限位件的表面与所述弧形槽的槽壁相匹配。
7、作为测量探头的优选技术方案，所述固定孔的槽壁设有内螺纹，所述锁紧头的侧面设有外螺纹，所述锁紧头与所述固定孔螺纹配合。
8、作为测量探头的优选技术方案，所述弹性件包括压缩弹簧。
9、三坐标测量机，包括工作台以及安装于所述工作台上的夹紧模块、驱动模块和上述的测量探头；所述夹紧模块用于定位所述待测产品，所述驱动模块用于调整所述测量探头在空间坐标系中的坐标。
10、作为三坐标测量机的优选技术方案，所述夹紧模块包括两个相对设置夹持组件，两个所述夹持组件用于从两侧夹持所述待测产品。
11、作为三坐标测量机的优选技术方案，所述夹持组件包括固接于所述工作台上的驱动单元，所述驱动单元的输出端通过夹紧臂与夹紧块向连接，所述驱动单元用于驱动所述夹紧块抵压所述待测产品的表面。
12、作为三坐标测量机的优选技术方案，所述驱动模块包括固接于所述工作台上的固定架，所述固定架上设有沿第一方向延伸的第一滑轨，所述第一滑轨上滑动配合有第一滑块，所述第一滑块上固接有沿第二方向延伸的第二滑轨，所述第二滑轨上滑动配合有第二滑块，所述第二滑块固接有沿第三方向延伸的第三滑轨，所述固定座上固接有探头滑块，所述探头滑块与所述第三滑轨滑动配合。
13、本技术的有益效果：
14、该测量探头通过选用平头测头的方式，得以借助平头测头直接点到待测产品的侧面，从而能够检测轮廓深度小于0.5mm的待测产品的尺寸，进而解决了深度小于0.5mm的产品轮廓难以检测的问题。测针主体与测头座之间的可拆卸插装设计，测头座与探头壳锁紧连接的设计，以及探头壳插装于固定座的设计，降低了各个构件的更换难度，提高了测量探头整体的灵活性，有效地降低了测量探头的维护成本，提高了测量探头的工作稳定性。借助限位件抵压于环形槽内的设计，达到了固定座对探头壳进行限位的目的，保证了连接的稳定性，同时还降低了探头壳的拆装难度。
15、该三坐标测量机借助夹紧模块的设置，保障了对待测产品的定位能力，借助驱动模块的设置，得以达到对测量探头进行位置调整的目的，确保了调整测量的检测操作能够顺利完成。
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1.测量探头，用于测量待测产品(900)的凹槽结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述收纳槽的槽顶周向设有若干弹性爪(121)，每两个相邻的所述弹性爪(121)之间设有收缩槽(122)。
3.根据权利要求2所述的测量探头，其特征在于，所述弹性爪(121)朝向所述收纳槽的一侧凸设有夹持凸起(123)。
4.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述环形槽(132)为弧形槽，所述限位件(144)为球形件，所述限位件(144)的表面与所述弧形槽的槽壁相匹配。
5.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述固定孔(131)的槽壁设有内螺纹，所述锁紧头(124)的侧面设有外螺纹，所述锁紧头(124)与所述固定孔(131)螺纹配合。
6.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述弹性件(143)包括压缩弹簧。
7.三坐标测量机，其特征在于，包括工作台(200)以及安装于所述工作台(200)上的夹紧模块、驱动模块和权利要求1-6任一项所述的测量探头；所述夹紧模块用于定位所述待
8.根据权利要求7所述的三坐标测量机，其特征在于，所述夹紧模块包括两个相对设置夹持组件，两个所述夹持组件用于从两侧夹持所述待测产品(900)。
9.根据权利要求8所述的三坐标测量机，其特征在于，所述夹持组件包括固接于所述工作台(200)上的驱动单元(610)，所述驱动单元(610)的输出端通过夹紧臂(620)与夹紧块(630)向连接，所述驱动单元(610)用于驱动所述夹紧块(630)抵压所述待测产品(900)的表面。
10.根据权利要求7所述的三坐标测量机，其特征在于，所述驱动模块包括固接于所述工作台(200)上的固定架(300)，所述固定架(300)上设有沿第一方向延伸的第一滑轨(310)，所述第一滑轨(310)上滑动配合有第一滑块(420)，所述第一滑块(420)上固接有沿第二方向延伸的第二滑轨(410)，所述第二滑轨(410)上滑动配合有第二滑块(520)，所述第二滑块(520)固接有沿第三方向延伸的第三滑轨(510)，所述固定座(140)上固接有探头滑块(150)，所述探头滑块(150)与所述第三滑轨(510)滑动配合。
...【技术特征摘要】
1.测量探头，用于测量待测产品(900)的凹槽结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述收纳槽的槽顶周向设有若干弹性爪(121)，每两个相邻的所述弹性爪(121)之间设有收缩槽(122)。
3.根据权利要求2所述的测量探头，其特征在于，所述弹性爪(121)朝向所述收纳槽的一侧凸设有夹持凸起(123)。
4.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述环形槽(132)为弧形槽，所述限位件(144)为球形件，所述限位件(144)的表面与所述弧形槽的槽壁相匹配。
5.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述固定孔(131)的槽壁设有内螺纹，所述锁紧头(124)的侧面设有外螺纹，所述锁紧头(124)与所述固定孔(131)螺纹配合。
6.根据权利要求1所述的测量探头，其特征在于，所述弹性件(143)包括压缩弹簧。
7.三坐标测量机，其特征在于，包括工作台(200)以及安装于所述工作台(200)上的夹紧模块、驱动模块和权利要求1-6任一项所述的测量探头；所述夹紧模块用于定位所述待测产品(900)，所述驱动模块...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，陈文庆，时晓旭，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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