描述一种用于光刻设备中的表膜隔膜，所述表膜隔膜的特征在于其组成物在平面内是变化的。还描述一种制造表膜隔膜的方法，所述方法包括以下步骤：a)在衬底上设置牺牲层：b)在所述牺牲层上设置第一材料层；c)在所述第一材料层上设置抗蚀剂层；d)对所...

本发明提供了一种用于确定在外差干涉仪的单个检测器处接收的多个感兴趣信号中的每个感兴趣信号的一个或多个信号参数的方法，该方法包括以下步骤：a.对于每个感兴趣信号，通过估计其他感兴趣信号的信号贡献并从多个感兴趣信号中减去这些经估计信号贡献来...

本文描述了一种用于确定掩模图案的辅助特征将印制于衬底上的可能性的方法。所述方法包括：获得(i)被印制于衬底上的图案的多个图像，和(ii)方差数据、所述图案的所述多个图像；基于所述方差数据来确定被配置成产生与所述掩模图案相关联的方差数据的...

公开了适合于高谐波产生(HHG)辐射源的气体输送系统，所述高谐波产生辐射源可以用于产生用于检查设备的测量辐射。在这样的辐射源中，气体输送元件在第一方向上输送气体。所述气体输送元件具有光学输入和光学输出，限定了在第二方向上延伸的光学路径。...

一种源材料阀，该源材料阀放置在用于源材料腔室(诸如源材料再填充储器)的流体供给管线中，以防止该腔室中的熔融源材料到达并且因此在压力故障的情况下污染和堵塞该源材料阀上游的该流体供给管线。上游的该流体供给管线。上游的该流体供给管线。

本发明涉及一种包括预曝光元件(134)的台系统(130)，并且涉及一种采用预曝光元件来调节光学系统(100)的方法。预曝光元件包括在台系统的表面处的辐射接收区域，其中辐射接收区域包括被配置为接收辐射的至少一个预曝光板。台系统还包括控制器...

本文描述了一种量测系统和用于经由经训练的机器学习(ML)模型转换量测数据的方法。所述方法包括：访问由第一扫描电子量测(SEM)系统获取的第一SEM数据集(例如图像、轮廓灯)和由第二SEM系统获取的第二SEM数据集，其中所述第一SEM数据...

公开了一种用于确定指示被处理的衬底的对准性能的性能指标的方法。所述方法包括：获得包括位于所述衬底上的对准标记的多个被测量的位置值的测量数据；和计算每个被测量的位置值与对应的期望的位置值之间的位置偏差。这些位置偏差被用于确定所述对准标记之...

描述了产生用于图案化过程的控制输出。接收控制输入。所述控制输入用于控制所述图案化过程。所述控制输入包括在所述图案化过程中使用的一个或更多个参数。利用经训练的机器学习模型，基于所述控制输入来产生所述控制输出。所述机器学习模型是利用从模拟所...

公开一种改进感兴趣参数的测量的方法。方法包括：获得量测数据，量测数据包括与衬底上的一个或多个目标相关的感兴趣参数的多个测量值，每个测量值与所述一个或多个目标中的目标和测量目标的测量条件的不同测量组合，以及与一个或多个目标的不对称性相关的...

本发明提供了一种用于对承受热负荷的热敏元件(MI)进行热机械控制的方法，包括：

提供了一种检测器衬底(或检测器阵列)，用于带电粒子多束评估工具中以检测来自样品的带电粒子。检测器衬底对用于多束的相应带电粒子束的束路径的孔径阵列进行限定。检测器衬底包括：传感器单位阵列。传感器单位阵列的传感器单位与孔径阵列中的对应孔径相...

本公开涉及带电粒子多射束列和多射束列阵列。在一种配置中，限定子射束的孔径阵列根据带电粒子射束形成子射束。准直器阵列使子射束准直。物镜阵列将经准直的子射束投射到样品上。检测器检测从样品发射的带电粒子。每个准直器与物镜中的一个物镜直接相邻。...

提供了用于转向对准激光束和燃料目标的系统、设备和方法。一种示例方法可以包括：以第一速率生成指示燃料目标与激光束之间的第一重叠的第一感测数据。该示例方法还可以包括：以第二速率生成指示燃料目标与激光束之间的第二重叠的第二感测数据。该方法还可...

披露了一种用于宽带光源装置的光学部件，该光学部件被配置为用于在接收泵浦辐射时产生宽带输出，并且该光学部件包括空芯光子晶体光纤(HC

披露了一种用于对宽带照射束进行光谱成形以获得经光谱成形的照射束的照射装置。所述照射装置包括：束分散元件，所述束分散元件用于分散所述宽带照射束；和空间光调制器，所述空间光调制器用于在所述宽带照射束被分散之后在空间上调制所述宽带照射束。所述...

本发明提供一种用于量测过程或光刻过程的设备，所述设备包括：适于保持衬底的物体支撑模块；第一气体喷淋器，所述第一气体喷淋器布置在所述物体支撑模块的第一侧上，并且适于在是水平方向的第一气体方向上以第一速度发射气体，以使得在所述设备中的净气流...

本文描述了在其上记录有指令的非瞬态计算机可读介质，指令被实施用于评估设计布局的所选图案集合的方法。方法包括：获得(i)由图案选择过程产生的第一图案集合，(ii)与第一图案集合相关联的第一图案数据，(iii)与第一图案数据相关联的特性数据...

提供了用于极紫外(EUV)辐射系统中的光学量测的系统、设备和方法。示例系统可以包括量测系统和窗口。示例量测系统可以被配置为被设置在第一环境中，并且沿着量测系统的光轴对第二环境中的区域执行一个或多个测量。示例窗口可以被配置为被设置成与光轴...

本文中描述一种用于基于失效率来确定图案化过程的过程窗口的方法。所述方法包括：(a)获得被印制于衬底上的多个特征；(b)基于指标将所述特征分组为多个组；和(c)基于与特征组相关联的测量数据来产生所述特征组的基础失效率模型，其中，所述基础失...