带电粒子束检测器可以包括具有以下项的电路：存储单元，其被配置为接收表示感测元件的输出的信号；存储单元复用器，其被配置为将表示感测元件的输出的信号选择性地传输到存储单元；阈值检测器，其被配置为将表示感测元件的输出的信号与阈值进行比较；以及...

描述了用于确定映射的强度度量的方法和系统。确定映射的强度度量包括确定制造系统的强度度量。强度度量基于衬底上的位置的反射率和制造系统特性被确定。确定映射的强度度量还包括确定参考系统的映射的强度度量。参考系统具有参考系统特性。映射的强度度量...

一种用于还原部分氧化的掩模版和表膜组件的设备，包括：支撑件；氢气供应装置；以及电子源。所述支撑件用于支撑掩模版和表膜组件。所述氢气供应装置可操作以在掩模版和表膜组件由所述支撑件支撑时将氢气供应到掩模版和表膜组件的表膜附近。所述电子源可操...

公开了一种用于在衬底区域上对测量数据进行建模的方法和相关联的装置。该方法包括：获得与第一布局相关的测量数据；基于所述第一布局对第二模型进行建模；在第二布局上评估第二模型，第二布局比所述第一布局密集；以及根据第二布局，将第一模型拟合到该第...

披露了用于模拟等离子体蚀刻过程的系统和方法。根据某些实施例，用于模拟等离子体蚀刻过程的方法可以包括：基于多个第一参数，以第一尺度预测等离子体的粒子的第一特性；基于由多个第二参数引起的对所述第一特性的修改，以第二尺度预测所述粒子的第二特性...

可变设定点和/或其它因素可能限制用于设备的移动部件的迭代学习控制。本公开描述一种被配置成控制设备的部件(ST)以至少一个指定运动进行移动的处理器。所述处理器被配置成接收诸如和/或包括可变设定点的控制输入(SP)。所述控制输入指示所述部件...

确定在一时段内入射到检测器上的带电粒子的数目的方法可以包括：生成第一信号，第一信号基于撞击检测器的感测元件的带电粒子；基于检测器上的带电粒子到达事件的预定特性，使用第一信号来执行处理；以及基于处理来输出计数信号。数信号。数信号。

公开了用于在衬底上对光致抗蚀剂中的曝光图案执行测量的方法和相关联的量测装置。方法包括：在测量区域之上的所述曝光图案上施加测量辐射束，测量区域的尺寸防止或减轻来自测量辐射的光致抗蚀剂损伤；在所述测量辐射已从所述曝光图案散射之后，捕获包括所...

披露了一种方法，涉及：获得用于模拟抗蚀剂中的图案的变形过程的抗蚀剂变形模型，所述抗蚀剂变形模型是被配置为模拟作用于所述抗蚀剂的流体内力的流体动力学模型；通过使用所述抗蚀剂变形模型来执行所述变形过程的计算机模拟，以获得针对至所述抗蚀剂变形...

描述了为半导体晶片的设计布局选择优化的、几何多样化的片段子集。所述设计布局的完整表示被接收到。所述设计布局的代表性片段集合被确定，使得各个代表性片段包括所述设计布局的一个或多个独特图案的不同组合。所述代表性片段的子集基于所述一个或多个独...

用于加速用于生成EUV辐射的液滴的装置和方法包括产生导向照射区域的激光束的装置和液滴源。液滴源包括以流的形式离开喷嘴的流体，该流分解成液滴，然后经历聚结。然后，液滴受到气流的作用，气流夹带液滴并使之加速。气流夹带液滴并使之加速。气流夹带...

本发明提供了使用高度水平传感器来计算经校正的第一衬底的衬底高度映射的方法。方法包括：在第一衬底以第一速度移动的情况下，借助高度水平传感器对第一衬底进行采样以生成第一高度水平数据，其中第一速度是第一衬底相对于高度水平传感器的第一至少部分非...

本文中描述一种用于从经图案化的衬底的原始图像选择良好品质图像的方法。所述方法包括：获得经图案化的衬底的多个原始图像(例如SEM图像)；基于与所述多个原始图像中的每个图像内的一个或更多个特征的量规或轮廓相关联的数据来确定原始图像品质指标(...

一种检测器包括：多个感测元件；区段电路系统，将第一感测元件集通信地耦合到第一信号处理电路系统的输入；以及开关网络，对感测元件集进行连接。元件间开关可以对相邻的感测元件(包括在对角线方向上的感测元件)进行连接。输出总线可以通过开关元件连接...

一种用于相步进测量系统的透射型衍射光栅，该相步进测量系统用于确定投影系统的像差图，该衍射光栅包括吸收层。该衍射光栅用于与具有第一波长的辐射(例如EUV辐射)一起使用。吸收层设置有通孔的二维阵列。吸收层由对于具有第一波长的辐射具有在0.9...

公开了用于实现检测器阵列的系统和方法。根据某些实施例，衬底包括多个感测元件(501

本文所公开的是一种用于支撑被配置为操纵带电粒子设备中的带电粒子路径的装置的模块，该模块包括：被配置为支撑该装置的支撑布置，其中该装置被配置为操纵带电粒子设备内的带电粒子路径；以及被配置为在模块内移动支撑布置的支撑定位系统；其中模块被布置...

提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被...

公开了使用检测器模块和包括馈通件的支撑件来检测信号束的检测器模块、系统和方法。此外此外，公开了用于密封被配置为提供大气环境和真空腔环境的真空系统的装置、系统及方法。在一些实施例中，印刷电路板(PCB)包括用于暴露于大气环境的第一侧和用于...

本文描述了一种选择图案的方法，图案用于训练模型以预测待印制在衬底上的图案。方法包括(a)获得多个图案的图像，其中多个图案对应于待印制在衬底上的目标图案；(b)将图像分组成特定图案组和多个主图案组；以及(c)基于图像输出图案集作为用于训练...