用于激光到液滴对准的系统和方法技术方案

提供了用于转向对准激光束和燃料目标的系统、设备和方法。一种示例方法可以包括：以第一速率生成指示燃料目标与激光束之间的第一重叠的第一感测数据。该示例方法还可以包括：以第二速率生成指示燃料目标与激光束之间的第二重叠的第二感测数据。该方法还可以包括：以第三速率并且基于第一感测数据和第二感测数据来生成转向控制信号，转向控制信号被配置为使激光束或燃料目标转向。在一些方面中，第二速率可以不同于第一速率，并且第三速率可以大约等于第一速率。在其他方面中，第一速率和第二速率可以大约等于第三速率。第二速率可以大约等于第三速率。第二速率可以大约等于第三速率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于激光到液滴对准的系统和方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年7月6日提交的名称为SYSTEMS AND METHODS FOR LASER
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TO
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DROPLET ALIGNMENT的美国申请号63/048,544的优先权，该申请通过引用全部并入本文。


[0003]本公开涉及用于在辐射源处使用多个控制或量测装置的系统和方法。

技术介绍

[0004]光刻设备是将期望图案施加到衬底上(通常施加到衬底的目标部分上)的机器。光刻设备可以被用于例如集成电路(IC)的制造中。在该实例中，图案形成装置(可互换地被称为掩模或掩模版)可以被用于生成要被形成在形成的IC的单个层上的电路图案。该图案可以被转印到衬底(例如硅晶片)上的目标部分(例如包括部分管芯、一个或多个管芯)上。图案的转印通常经由成像到在衬底上提供的辐射敏感材料(例如抗蚀剂)层上。通常，单个衬底将包含被连续图案化的相邻目标部分的网络。传统的光刻设备包括所谓的步进器(其中每个目标部分通过将整个图案一次曝光到目标部分上来辐照)以及所谓的扫描仪(其中每个目标部分通过在给定方向(“扫描”方向)上通过辐射束扫描图案来辐照，同时平行或反平行(例如相反)于该扫描方向同步扫描目标部分)。也可以通过将图案压印到衬底上来将图案从图案形成装置转印到衬底。
[0005]随着半导体制造过程的不断发展，遵循一般称为摩尔定律的趋势，电路元件的尺寸被不断减小，而几十年来每个装置的功能元件(诸如晶体管)的数量却稳定增加。为了跟上摩尔定律，半导体行业正在寻求能够创建越来越小的特征的技术。为了将图案投影到衬底上，光刻设备可以使用电磁辐射。该辐射的波长确定了在衬底上图案化的特征的最小大小。当前使用的典型波长是365nm(i线)、248nm、193nm和13.5nm。
[0006]极紫外(EUV)辐射(波长约为50纳米(nm)或更小的电磁辐射(有时也称为软x射线)，并且包括波长约为13nm的光)可以被用于光刻设备或者与光刻设备一起使用，以在例如硅晶片等衬底中或上产生极小的特征。与使用例如波长为193nm的辐射的光刻设备相比，使用波长在4nm至20nm范围内(例如6.7nm或13.5nm)的EUV辐射的光刻设备可以被用于在衬底上形成更小的特征。
[0007]产生EUV光的方法包括但不必限于将具有发射谱线在EUV范围内的元素(例如氙(Xe)、锂(Li)或锡(Sn))的材料转换为等离子体状态。例如，在一种被称为激光产生等离子体(LPP)的这种方法中，等离子体可以通过用放大的光束(可以被称为驱动激光)辐照目标材料来产生，该目标材料在LPP源的上下文中可互换地被称为燃料，例如呈材料的液滴、板、带、流或簇的形式。针对该过程，等离子体通常在密封容器中产生，例如真空室，并且使用各种类型的量测设备监测。

技术实现思路

[0008]本公开描述了系统、设备和方法的各个方面，用于在一些方面中使用两个光学感测装置提供基于模型的激光到液滴(L2D)对准估计。在一些方面中，两个光学感测装置可以包括被配置为以第一速率(例如50kHz)生成第一感测数据的光接收器(例如象限单元光接收器(四单元))和被配置为以第二速率(例如5Hz)生成第二感测数据的成像装置(例如光电检测器、光电二极管、相机或其他合适的装置)，在一些方面中，第二速率可以小于第一速率。在其他方面中，两个光学感测装置可以包括两个同步成像装置，诸如两个液滴形成相机(DFC)，它被配置为提供立体视觉。
[0009]在一些方面中，本公开描述了一种辐射源。辐射源可以包括第一光学感测装置，被配置为以第一速率生成指示燃料目标与激光束之间的第一重叠的第一感测数据。在一些方面中，第一光学感测装置可以被配置为从第一角度获得第一感测数据。辐射源还可以包括第二成像装置，被配置为以第二速率生成指示燃料目标与激光束之间的第二重叠的第二感测数据。在一些方面中，第二光学感测装置可以被配置为从不同于第一角度的第二角度获得第二感测数据。辐射源还可以包括控制器，被配置为：接收第一感测数据和第二感测数据。控制器还可以被配置为基于第一感测数据和第二感测数据来生成燃料目标数据。燃料目标数据可以指示燃料目标的性质集合(例如与燃料目标或修改后的燃料目标相关联的检测、测量、捕获、获得的性质或实际性质)。在一些方面中，燃料目标数据可以包括激光到液滴(L2D)数据。在一些方面中，控制器还可以被配置为：基于第一感测数据和第二感测数据生成立体感测数据；并且基于立体感测数据生成燃料目标数据。控制器还可以被配置为：基于燃料目标数据，以第三速率生成转向控制信号，该转向控制信号被配置为使激光束或燃料目标转向。
[0010]在一些方面中，第一光学感测装置可以包括光接收器(例如四单元)，并且第二光学感测装置可以包括成像装置(例如相机)。在一些方面中，第二速率可以不同于第一速率。例如，第一速率可以是大约50kHz，并且第二速率可以是大约5Hz。在一些方面中，第三速率可以大约等于第一速率。例如，第三速率可以是大约50kHz。
[0011]在一些方面中，第一光学感测装置可以包括第一液滴形成相机(DFC)。在一些方面中，第二光学感测装置可以包括被配置为与第一DFC同步的第二DFC。在一些方面中，第二速率可以大约等于第一速率。在一些方面中，第三速率可以大约等于第一速率。例如，第一速率、第二速率和第三速率中的每个速率可以大约等于5Hz。在一些方面中，辐射源还可以包括双DFC系统，包括第一DFC、第二DFC、第一照射装置和第二照射装置。在一些方面中，第一感测数据可以指示燃料目标与激光束之间的第一重叠，该第一重叠是大约在激光束被生成的时间从第一角度获得的。在一些方面中，第二感测数据可以指示燃料目标与激光束之间的第二重叠，该第二重叠是大约在激光束被生成的时间从第二角度获得的。在一些方面中，第一照射装置可以被配置为大约在激光束被生成的时间从第一照射角度照射燃料目标。在一些方面中，第二照射装置可以被配置为大约在激光束被生成的时间从不同于第一照射角度的第二照射角度照射燃料目标。在一些方面中，激光束可以包括预脉冲激光束。
[0012]在一些方面中，控制器还可以被配置为生成第一估计燃料目标数据。第一估计燃料目标数据可以指示燃料目标的第一估计性质集合。在一些方面中，控制器还可以被配置为生成燃料目标数据和第一估计燃料目标数据的比较。在一些方面中，控制器还可以被配
置为基于比较生成燃料目标估计误差数据。在一些方面中，控制器还可以被配置为基于燃料目标数据、第一估计燃料目标数据和燃料目标估计误差数据来生成第二估计燃料目标数据。第二估计燃料目标数据可以指示燃料目标的第二估计性质集合。
[0013]在一些方面中，在转向控制信号是第一转向控制信号的情况下，控制器还可以被配置为：在第一时间基于燃料目标数据生成第一转向控制信号；并且在与第一时间不同的第二时间基于第二估计燃料目标数据生成第二转向控制信号。
[0014]在一些方面中，在比较是第一比较并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种辐射源，包括：第一光学感测装置，被配置为以第一速率生成指示燃料目标与激光束之间的第一重叠的第一感测数据；第二光学感测装置，被配置为以第二速率生成指示所述燃料目标与所述激光束之间的第二重叠的第二感测数据；以及控制器，被配置为：接收所述第一感测数据和所述第二感测数据；基于所述第一感测数据和所述第二感测数据来生成燃料目标数据；以及以第三速率并且基于所述燃料目标数据来生成转向控制信号，所述转向控制信号被配置为使所述激光束或所述燃料目标转向。2.根据权利要求1所述的辐射源，其中：所述第一光学感测装置包括光接收器；所述第二光学感测装置包括成像装置；所述第二速率不同于所述第一速率；并且所述第三速率大约等于所述第一速率。3.根据权利要求1所述的辐射源，其中：所述第一光学感测装置包括第一液滴形成相机；所述第二光学感测装置包括第二液滴形成相机，所述第二液滴形成相机被配置为与所述第一液滴形成相机同步；所述第二速率大约等于所述第一速率；并且所述第三速率大约等于所述第一速率。4.根据权利要求3所述的辐射源，还包括双液滴形成相机系统，所述双液滴形成相机系统包括：所述第一液滴形成相机，其中所述第一感测数据指示所述燃料目标与所述激光束之间的所述第一重叠，所述第一重叠是大约在所述激光束被生成的时间从第一角度获得的；所述第二液滴形成相机，其中所述第二感测数据指示所述燃料目标与所述激光束之间的所述第二重叠，所述第二重叠是大约在所述激光束被生成的所述时间从第二角度获得的；第一照射装置，被配置为大约在所述激光束被生成的所述时间从第一照射角度照射所述燃料目标；以及第二照射装置，被配置为大约在所述激光束被生成的所述时间从不同于所述第一照射角度的第二照射角度照射所述燃料目标。5.根据权利要求4所述的辐射源，其中所述激光束包括预脉冲激光束。6.根据权利要求1所述的辐射源，其中所述燃料目标数据包括激光到液滴的数据。7.根据权利要求1所述的辐射源，其中所述控制器还被配置为：基于所述第一感测数据和所述第二感测数据来生成立体感测数据；以及基于所述立体感测数据来生成所述燃料目标数据。8.根据权利要求1所述的辐射源，其中所述控制器还被配置为：生成第一估计燃料目标数据；
生成所述燃料目标数据与所述第一估计燃料目标数据的比较；基于所述比较来生成燃料目标估计误差数据；以及基于所述燃料目标数据、所述第一估计燃料目标数据和所述燃料目标估计误差数据来生成第二估计燃料目标数据。9.根据权利要求8所述的辐射源，其中：所述转向控制信号是第一转向控制信号；并且所述控制器还被配置为：在第一时间，基于所述燃料目标数据来生成所述第一转向控制信号；以及在不同于所述第一时间的第二时间，基于所述第二估计燃料目标数据来生成第二转向控制信号。10.根据权利要求8所述的辐射源，其中：所述比较是第一比较；所述燃料目标估计误差数据是第一燃料目标估计误差数据；所述控制器还被配置为：生成所述燃料目标数据与所述第二估计燃料目标数据的第二比较；以及基于所述第二比较来生成第二燃料目标估计误差数据；并且所述第二燃料目标估计误差数据指示所述燃料目标数据与所述第二估计燃料目标数据之间不存在误差。11.根据权利要求1所述的辐射源，还包括：激光转向系统，其中：所述转向控制信号包括指示将所述激光束向等离子体生成区域转向的电子指令的激光转向控制信号；并且所述控制器还被配置为将所述激光转向控制信号发送给所述激光转向系统。12.根据权利要求11所述的辐射源，其中所述激光转向系统包括激光转向致动器，所述激光转向致动器被配置为：接收所述激光转向控制信号；以及基于所述激光转向控制信号来将所述激光束向所述等离子体生成区域转向。13.根据权利要求1所述的辐射源，还包括：燃料目标...

【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：