The invention relates to a high and low temperature multi-station testing device for semiconductor products, which is composed of a clamp base and a clamp cover. A plurality of semiconductor chip placement zones are arranged on the clamp base, the clamp base is placed in the high and low temperature testing zone, and the clamp cover has a ventilation hole, and the position size matches the circular air inlet hole of the heat flow hood of the cold and hot impact machine. The clamp cover is wrapped on the base of the clamp, and the back of the clamp cover has an outlet hole above each semiconductor chip placement area of the clamp base. The fixture occupies a small area and is easy to operate, and ensures uniform heating at high and low temperatures. It can effectively solve the problem of low operation efficiency, ensure the test quality, and improve the test efficiency and economy.
【技术实现步骤摘要】
半导体成品高低温多工位测试装置
本专利技术涉及一种测试治具,特别涉及一种半导体成品高低温多工位测试装置。
技术介绍
FT测试:半导体成品电测试;手动测试:人工进行放置电路,手动进行测试、保存数据;ATE:自动测试设备,进行半导体自动测试仪器;夹具:用来放置半导体成品的容器,将成品电路的PIN脚和对应ATE设备的资源相连,以实现电参数测试,一般夹具分为夹具盖和夹具底座;冷热冲击机:用来解决半导体成品测试时对测试温度指标的要求,在自身腔体内,通过吹出相应测试温度的空气进行温度的建立、维持。FT成品测试分为自动测试和手动测试。自动测试多采用机械手机台搭配ATE测试机进行。手动测试是指需要生产操作人员手工进行成品电路在夹具上的取放,配合测试机进行生产测试。FT测试多工位手动测试时,如图1所示夹具底座结构示意图,操作人员需要将半导体成品一个个放入各自的夹具底座1中的半导体成品芯片放置区2中,底座4个角通过螺钉3与测试板固定,并逐个盖上夹具盖后才能进行测试,如图2为夹具盖结构示意图,夹具盖4边上有锁定装置6,夹具盖4盖在夹具底座1上后锁定,将包裹整个夹具底座1,夹具盖4上有一通气孔5,高低温气体通过通气孔5作用在半导体成品芯片上,测试完成后必须逐个打开夹具盖,取出半导体成品进行保存数据,上述操作造成多工位手动测试效率低下。如图3所示冷热冲击机测试示意图,将放好待测半导体成品的测试板8上罩上热流罩7,热流罩7上有一进气孔9,冷热气流从此进入热流罩7,对热流罩7中的半导体成品进行测试,在进行高低温测试时,通常采用冷热冲击机对夹具进行相应温度的气流吹气来达到测试温度节点,因 ...
【技术保护点】
1.一种半导体成品高低温多工位测试装置,由夹具底座和夹具盖组成,其特征在于,夹具底座上有多个半导体成品芯片放置区,夹具底座置于高低温测试区域内,夹具盖上有一通气孔,位置大小与冷热冲击机热流罩圆形进气孔匹配;夹具盖包裹盖在夹具底座上,夹具盖内部背面,正对夹具底座每个半导体成品芯片放置区上方均有一个出气孔,即盖内有一个一进多出的气流腔体,混合气流。
【技术特征摘要】
1.一种半导体成品高低温多工位测试装置,由夹具底座和夹具盖组成,其特征在于,夹具底座上有多个半导体成品芯片放置区,夹具底座置于高低温测试区域内,夹具盖上有一通气孔,位置大小...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓维维,刘远华,钭晓鸥,吴勇佳,岳小兵,
申请(专利权)人:上海华岭集成电路技术股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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