半导体量产测试中数据标识方法技术

本发明专利技术涉及一种半导体量产测试中数据标识方法，机械手平台将半导体成品从标记为T的待测料盘区取出放入测试机内进行测试，测试完成后机械手平台将测试完的半导体成品放回原先取出的料盘区位置；数个待测料盘叠放高度方向设定为Z轴，每个料盘第一排测试的半导体成品方向为X轴，料盘另一方向为Y轴，层叠的料盘中任意一个半导体成品用XYZ坐标定位置，自动测试机与机械手机进行通讯，保证每个料盘中的半导体成品具有唯一的对应关系，解决了半导体成品自动测试中混料、分料、测试数据和实际测试半导体成品无法对应的问题，实现自动量产按照相应失效项进行有效分料和数据对应，提高机台适用能力。

Data identification method in semiconductor mass production test

The invention relates to a data marking method in semiconductor mass production test. The manipulator platform takes the semiconductor product out of the material plate area marked as T and puts it into the testing machine for testing. After testing, the manipulator platform puts the tested semi-conductor product back to the original position of the material plate area; several stacking heights of the material plates to be measured. The direction is set to Z axis, the direction of the first row of each tray is X axis, the other direction is Y axis. Any semiconductor product in the stacked tray is positioned by XYZ coordinates. The automatic testing machine communicates with the mechanical handset to ensure that the semiconductor product in each tray has a unique corresponding relationship. The problems of mixing, dividing, testing data and actual testing semi-conductor products can not be solved in automatic testing of semi-conductor products, and the effective dividing and data correspondence according to the corresponding failure items can be realized in automatic mass production, so as to improve the applicability of the machine.

【技术实现步骤摘要】
半导体量产测试中数据标识方法
本专利技术涉及一种检测技术，特别涉及一种半导体量产测试中数据标识方法。
技术介绍
FT测试：半导体成品电测试；机械手：模仿人手和臂的某些动作功能，用以按固定程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装置；ATE：自动测试设备，进行半导体自动测试仪器；Tray盘（料盘）：半导体成品电测试时，机械手用来摆放成品的容器。解决的FT成品自动测试分料、测试数据和实际测试电路无法对应的局限，满足对于成品测试时的统计、分包、分析需求。在成品自动测试中，ATE对机械手放入工位的每一个待测电路均会进行相应程序的测试，根据最终测试结果打印并保存相应数据。但受机械手机台分料和实际Tray盘占用面积过大的局限，通常在结果区分时，经常只能进行合格和不合格的产品区分。造成ATE产生的数据无法与实际电路进行一一对应的关系，只能进行良率统计。测试后期需要进行具体失效分析时，因为无法将数据对应到相应的实际电路，造成一定的难度。同时因为机械手机台受自身局限，无法对进行测试的电路激光标号进行扫描确认，可能会因为人工操作失误造成不同批次料盘混在一起的情况，测试后又被机械手放入不同的料盘中混在一起，造成混料的情况，影响生产质量、降低产量。如图1所示现在测试后机械手放料区域示意图，分四个区域，一个待分选料盘区、一个合格料盘区和二个不合格料盘区，目前ATE在实际测试中会根据实际电路失效的测试项进行相应的分料，用以区分不同失效。但受机械手机台分料能力和实际Tray盘占用面积的影响，在实际测试量产时，只能进行合格和不合格分类或少量不合格分类，因此造成无法进行具体失效的划分和统计、相应数据与实际半导体电路的数据一一对应、因误操作造成混料的问题。
技术实现思路
本专利技术是针对现在半导体成品测试中无法进行所有不合格测试项的分料、测试数据无法与实际电路进行对应、误操作混料的问题，提出了一种半导体量产测试中数据标识方法，解决了半导体成品自动测试中混料、分料、测试数据和实际测试半导体成品无法对应的问题，有效提高机械手机台的能力，满足客户需求。本专利技术的技术方案为：一种半导体量产测试中数据标识方法，具体包括如下步骤：1）机械手平台将半导体成品从标记为T的待测料盘区取出放入测试机内进行测试，测试完成后机械手平台将测试完的半导体成品放回原先取出的料盘区位置，根据位置记录半导体成品测试数据；2）数个待测料盘叠放高度方向设定为Z轴，每个料盘第一排测试的半导体成品方向为X轴，料盘另一方向为Y轴，层叠的料盘中任意一个半导体成品用XYZ坐标定位置；3）自动测试机与机械手机进行通讯，从机械手机台取回每颗半导体成品放置的料盘位置相应信息，其中包括重叠料盘的Z轴信息和单个料盘取放料的XY信息，并保存在每颗半导体成品数据中，以标准格式进行保存，保证每个料盘中的半导体成品具有唯一的对应关系；4）机械手机按对应关系进行分装，将合格成品和不同种类不合格成品分别放入合格料盘和标识不合格种类的不合格料盘中，完成分料。本专利技术的有益效果在于：本专利技术半导体量产测试中数据标识方法，实现自动量产按照相应失效项进行有效分料和数据对应，提高机台适用能力。附图说明图1为现在测试后机械手放料区域示意图；图2为本专利技术未测试前待测料盘功能示意图；图3为本专利技术测试中生产料盘功能示意图；图4为本专利技术料盘对应坐标关系示意图；图5为本专利技术分选功能示意图。具体实施方式基于实际机械手放料区域的局限性，在量产时可以只使用一块料盘区进行量产测试。待测料盘区内放入待测成品，在实际量产时机械手平台将半导体成品从标记为T的待测料盘区取出放入测试机内进行测试，如下图2所示未测试前待测料盘功能示意图。测试完成后机械手平台将测试完的半导体成品放回原先取出的位置，确保同一料盘中半导体成品不会因为更换了不同的料盘造成混料的问题，解决了因为误操作造成混料而影响量产质量、产量的问题。如下图3所示测试中待测料盘功能示意图，此时待测料盘可称为生产料盘，合格半导体成品1、不合格半导体成品2、3均按照原先位置放回料盘，未测试为T。测试完成后，所有半导体成品还是按原位置回到原来的待测料盘中。如下图4所示料盘对应坐标关系示意图，数个待测料盘叠放高度方向设定为Z轴，每个料盘第一排测试的半导体成品方向为X轴，料盘另一方向为Y轴，一个料盘上所有半导体成品可用XY坐标定位置，层叠的料盘中任意一个半导体成品可用XYZ坐标定位置。使用ATE测试机台与机械手机台进行通讯，在原先只进行合格和不合格分类的发送指令的基础上，从机械手机台取回每颗半导体成品放置的料盘位置相应信息，其中包括重叠料盘的Z轴信息和单个料盘取放料的XY信息，并保存在每颗半导体成品数据中，以标准格式进行保存，保证每个料盘中的半导体成品具有唯一的对应关系。同时测试机本身生成的数据中记录了对应半导体成品的测试数据，其中包括了测试结果和分料定义，结合对应坐标信息，完整地记录了量产中所有需要的信息和对应关系，同时上传到数据库服务器进行数据保存、以供后期查验，数据分析操作。在避免误操作带来混料的影响外，极大地提高了量产质量、满足了后期对数据分析的需求。后续如果需要对已经测试完成的成品电路按照测试结果分料进行分装时，只需把测完的料盘放入分选机械手机台，机台取得当前料对应的Z轴坐标和每次取出的单个半导体成品的XY信息作为依据，从数据库服务器中相应坐标的数据，按照之前的测试结果分料进行分装，并根据分选后的坐标信息，生成新的对应关系数据，保存为分选数据上传到数据库服务器进行保存。可以根据客户要求定制分装规则。例：只分选合格品料1、不合格品料2和料4或者某些特定料。如下图5所示。按照要求进行分选后的产品和生成的对应数据，在保证质量的前提下，满足后期对数据查验、工程批数据分析、量产分选的需求，有效地解决了FT测试机械手混料、分料和数据对应的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体量产测试中数据标识方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）机械手平台将半导体成品从标记为T的待测料盘区取出放入测试机内进行测试，测试完成后机械手平台将测试完的半导体成品放回原先取出的料盘区位置，根据位置记录半导体成品测试数据；2）数个待测料盘叠放高度方向设定为Z轴，每个料盘第一排测试的半导体成品方向为X轴，料盘另一方向为Y轴，层叠的料盘中任意一个半导体成品用XYZ坐标定位置；3）自动测试机与机械手机进行通讯，从机械手机台取回每颗半导体成品放置的料盘位置相应信息，其中包括重叠料盘的Z轴信息和单个料盘取放料的XY信息，并保存在每颗半导体成品数据中，以标准格式进行保存，保证每个料盘中的半导体成品具有唯一的对应关系；4）机械手机按对应关系进行分装，将合格成品和不同种类不合格成品分别放入合格料盘和标识不合格种类的不合格料盘中，完成分料。

【技术特征摘要】
1.一种半导体量产测试中数据标识方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）机械手平台将半导体成品从标记为T的待测料盘区取出放入测试机内进行测试，测试完成后机械手平台将测试完的半导体成品放回原先取出的料盘区位置，根据位置记录半导体成品测试数据；2）数个待测料盘叠放高度方向设定为Z轴，每个料盘第一排测试的半导体成品方向为X轴，料盘另一方向为Y轴，层叠的料盘中任意一个半导体成品用...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓维维，祁建华，邵嘉阳，罗斌，叶建明，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31