一种圆晶测试系统技术方案

本实用新型专利技术实施例提供了一种圆晶测试系统，包括：主控制器、测试机、探针台、测试通道控制模块；所述主控器分别与所述测试机、所述探针台相连以及所述测试通道控制模块相连，所述主控器为单片机，所述主控器分别与所述测试机通过连接接口进行连接，控制所述测试机并接收所述测试机的测试结果，并将测试结果传送至所述探针台；测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号，通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。应用本实用新型专利技术，可以同时测试多颗器件，提高器件的测试效率。

A circular crystal testing system

The embodiment of the utility model provides a wafer test system, which comprises a main controller, a test machine, a probe table and a test channel control module; the main controller is respectively connected with the test machine, the probe table and the test channel control module; the main controller is a microcontroller, and the main controller is respectively connected with the test channel control module. The tester is connected through a connecting interface, controls the tester and receives the test result of the tester, and transmits the test result to the probe platform; the test channel control module sends out the relay driving signal through the driver, and makes the closed selection of the test channel by controlling the driving signal of the relay. By using the utility model, several devices can be tested at the same time, and the testing efficiency of the device can be improved.

【技术实现步骤摘要】
一种圆晶测试系统
本技术涉及器件测试
，特别是涉及一种圆晶测试系统。
技术介绍
圆晶(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。目前分立器件类产品用JUNO分立器件测试系统在P8探针台测试。由于JUNO分立器件测试系统不能支持多颗同时测试，测试效率低。因此，有必要提供一种新的圆晶测试系统解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术实施例的目的在于提供一种圆晶测试系统，以解决现有技术中器件不支持多颗测试，测试效率低的问题，旨在提高器件的测试效率。具体技术方案如下：为达到上述目的，本技术实施例提供了一种圆晶测试系统，主控制器、测试机、探针台、测试通道控制模块；所述主控器分别与所述测试机、所述探针台相连以及所述测试通道控制模块相连，所述主控器为单片机，所述主控器分别与所述测试机通过连接接口进行连接，控制所述测试机并接收所述测试机的测试结果，并将测试结果传送至所述探针台；测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号，通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。本技术的优选实施方式中，所述测试通道控制模块的电路包括：开关W1、开关W2、开关W3和开关W4，连接接口(P10)、驱动器(U1)、第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器；所述单片机分别通过所述的开关W1、开关W2、开关W3和开关W4与所述连接接口(P10)相连，通过所述连接接口(P10)将继电器的驱动信号发送至驱动器(U1)、并通过所述驱动器(U1)输出的信号控制所述的第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器对应的测试通道的通和断，其中，所述驱动器(U1)为ULN2003。本技术的优选实施方式中，所述的第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器分别包括四个继电器。本技术的优选实施方式中，所述主控器通过发送信号至所述探针台用于控制所述探针台走动，在接收探针台准备好的信号后将测试结果传送至所述探针台。本技术的优选实施方式中，所述单片机的型号为：STC11F02C。本技术的优选实施方式中，所述单片机的晶振信号为12MHz。本技术的优选实施方式中，还包括稳压电路，所述稳压电路通过稳压芯片(U2)将12V电压转化为5V电压，其中，所述稳压芯片(U2)的型号为：UZ1084。应用本技术实施例提供的一种圆晶测试系统，主控器分别与测试机、探针台相连以及测试通道控制模块相连，主控器为单片机，主控器分别与测试机通过连接接口进行连接，控制测试机并接收测试机的测试结果，并将测试结果传送至探针台；测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号，通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。因此，应用本技术可以通过测试通道中驱动器发出的继电器驱动信号控制测试通道的闭合进行选择，因此，可以同时选择多个测试通道同时进行闭合，因而可以实现多个通道同时进行测试，提高了器件的测试效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例的圆晶测试平台的第一种电路图；图2为本技术实施例的圆晶测试平台的第二种电路图；图3为本技术实施例的圆晶测试平台的第三种电路图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例：参见图1-2所示，主控器U3分别与测试机通过连接接口P8进行连接，具体的，主控器U3通过TEST_SOT、TEST_EOT、BIN、VCC与连接接口P8进行连接，主控器U3通过TEST_SOT、TEST_EOT控制测试机，并接收测试结果。主控器U3通过prober_sot_stc2控制探针台走动，prober_eot_stc3接收探针台准备好，bin1,bin2,bin3,bin4为主控器U3传送测试结果(4颗并行传送)给探针台。测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号，通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。本技术的优选实施方式中，测试通道控制模块的电路包括：开关W1、开关W2、开关W3和开关W4分别与连接接口(P10)的1-4脚相连，并将测试通道信号发送至驱动器(U1)，驱动器(U1)将驱动信号Drive1-Drive4信号分别发送至第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器。示例性的，Drive1信号与5V电压信号连接4个继电器，Drive2、Drive3、Drive4的连接方式与Drive1相同。通过驱动器(U1)输出的信号控制的第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器对应的测试通道的通和断，其中，驱动器(U1)为ULN2003。第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器分别包括四个继电器。本技术的优选实施方式中，单片机的型号为：STC11F02C、单片机的晶振信号为12MHz。本技术的优选实施方式中，还包括稳压电路，稳压电路通过稳压芯片(U2)将12V电压转化为5V电压，其中，稳压芯片(U2)的型号为：UZ1084。如图3所示，稳压芯片U2的输入端输入12V电压，并与电解电容C1的正极相连，电解电容C1的负极接地；稳压芯片U2的输入端与电解电容C2的正极相连、以及与电阻R1的一端相连，所述电阻R1的另一端与电阻R2的第一端相连，C2的负极相连、所述电阻R2的另一端接地。稳压芯片U2的ADJ端口与电阻R1和电阻R2的连接端相连。SITE1为第一颗测试器件，SITE2为第二颗测试器件，SITE3为第三颗测试器件，SITE4为第四颗测试器件E1_S1-E1_S14、C1_S1-C1_S14、BI_S1-BI_S4、BV_S1-BV_S4分别为对应的测试引脚，将对应引脚的测试结果通过测试机进行测试，并反馈至单片机。本技术中，可以用单片机做一个接口电路，控制时序让JUNO连续测试4次，再让P8走动1次，从而实现4颗串行测试。测试程序也不需做特别处理，用原来的程序就可以，测试通道回路切换(RELAY切换)也已集成在单片机控制回路中。具体过程可以为：初始化后监测P8、JUNO在准备好的情况下进入4颗的串测模式，在测试完成的情况下，将测试结果通过P8进行传输给测试机，并发送信号使测试机移动到接下来的4颗待测器件，测试结束后继续换片测试，直至测试完成。本技术中，测试通道切换到第一颗后通知JUNO开始测试，在单片机监测测试完成后接收测试结果并存储，且在为第四颗测试结束的情况下4颗测试的子程序结束，否则，转到测试通道切换到下面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种圆晶测试系统，其特征在于，主控器、测试机、探针台、测试通道控制模块；所述主控器分别与所述测试机、所述探针台相连以及所述测试通道控制模块相连，所述主控器为单片机，所述主控器分别与所述测试机通过连接接口进行连接，控制所述测试机并接收所述测试机的测试结果，并将测试结果传送至所述探针台；测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号，通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。

【技术特征摘要】
1.一种圆晶测试系统，其特征在于，主控器、测试机、探针台、测试通道控制模块；所述主控器分别与所述测试机、所述探针台相连以及所述测试通道控制模块相连，所述主控器为单片机，所述主控器分别与所述测试机通过连接接口进行连接，控制所述测试机并接收所述测试机的测试结果，并将测试结果传送至所述探针台；测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号，通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。2.根据权利要求1所述的圆晶测试系统，其特征在于，所述测试通道控制模块的电路包括：开关W1、开关W2、开关W3和开关W4，连接接口(P10)、驱动器(U1)、第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器；所述单片机分别通过所述的开关W1、开关W2、开关W3和开关W4与所述连接接口(P10)相连，通过所述连接接口(P10)将继电器的驱动信号发送至驱动器(U1)、并通过所述驱动器(U1)输出的...

【专利技术属性】
技术研发人员：游诗勇，
申请(专利权)人：福建福顺半导体制造有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35