【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种像方标记承载装置，其特征在于，所述承载装置包括第一层板与第二层板，所述第一层板位于所述第二层板的上方，所述承载装置包括第一类型标记与第二类型标记，所述第一类型标记位于所述第一层板上，所述第二层板在对应所述第一类型标记之处设置一开口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱婧怡，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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