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本发明公开一种像方标记承载装置,其特征在于,该承载装置包括第一层板与第二层板,该第一层板位于该第二层板的上方,该承载装置包括第一类型标记与第二类型标记,该第一类型标记位于该第一层板上,该第二层板在对应该第一类型标记之处设置一开口。...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。