本发明专利技术提供一种静电夹具设备(500)，构造用以支撑光刻设备的图案形成装置(505)，所述静电夹具设备包括支撑结构，所述图案形成装置被抵靠所述支撑结构支撑；用于在支撑结构和图案形成装置之间提供夹持力的夹持电极(525)；和电容传感器阵列(660)，能够操作用以测量所述图案形成装置的形状。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：V·班尼恩，E·鲁普斯特拉，T·凯蒂，J·阿克曼斯，L·斯卡克卡巴拉兹，C·L·瓦伦汀，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。