【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种立体光掩模，供对一物件曝光时使用，其中该物件具有一立体曝光面，该立体光掩模包含：立体图案面，具有固定且与该立体曝光面互补的立体形状，以与该立体曝光面相嵌合；以及图案单元，形成于该立体图案面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许馨卉，张胜杰，黄宝毅，
申请(专利权)人：启碁科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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