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本发明公开一种立体光掩模、此立体光掩模的制造方法以及使用此立体光掩模的立体表面图案化制作方法。立体光掩模供对物件曝光时使用。其中，物件具有立体曝光面。立体光掩模包含立体图案面以及图案单元。立体图案面具有固定以立体曝光面互补的立体形状，并可与...
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