【技术实现步骤摘要】
本技术有关一种晶圆加工设备的机台基座结构，特别是指水泥表面被覆有一层适当厚度保护膜的机台基座结构。本技术的技术方案如下一种晶圆加工设备的机台基座结构，包括有一内部骨架、容纳前述内部骨架的外围钢框以及灌注于外围钢框中的水泥；内部骨架是由配合外围钢框的复数支纵向钢筋、横向钢筋及垂直钢筋相交于交点焊固而成一体，其嵌合于外围钢框内；外围钢框是配合前述内部骨架被容纳的钢框体；前述外围钢框内缘与前述内部骨架各钢筋接触部均焊固连接成一体；水泥灌注于已焊固前述内部骨架的外围钢框中，前述内部骨架完全凝固在水泥中，并与前述外围钢框凝固成一体；其特征在于，于前述水泥凝固稳定后的上表面被覆有一保护膜，该保护膜用以使水泥与外界隔绝，以达到防止水泥尘灰泄漏与空气氧化的效果。所述保护膜是一层环氧树脂。根据上述结构特征，本技术在水泥凝固稳定后的上表面被覆有一保护膜，从而可达到防止水泥尘灰泄漏与空气氧化的效果。图2为附图说明图1中水泥内部骨架与外围钢框结构示意图。图3为图2中内部骨架局部放大示意图。图号说明1基座 2内部骨架 3外围钢框 4水泥 5保护膜 6纵向钢筋7横向钢筋 8垂直钢筋 9焊固权利要求1.一种晶圆加工设备的机台基座结构，包括有一内部骨架、容纳前述内部骨架的外围钢框以及灌注于外围钢框中的水泥；内部骨架是由配合外围钢框的复数支纵向钢筋、横向钢筋及垂直钢筋相交于交点焊固而成一体，其嵌合于外围钢框内；外围钢框是配合前述内部骨架被容纳的钢框体；前述外围钢框内缘与前述内部骨架各钢筋接触部均焊固连接成一体；水泥灌注于已焊固前述内部骨架的外围钢框中，前述内部骨架完全凝固在...
【技术保护点】
一种晶圆加工设备的机台基座结构，包括有一内部骨架、容纳前述内部骨架的外围钢框以及灌注于外围钢框中的水泥；内部骨架是由配合外围钢框的复数支纵向钢筋、横向钢筋及垂直钢筋相交于交点焊固而成一体，其嵌合于外围钢框内；外围钢框是配合前述内部骨架被容纳的钢框体；前述外围钢框内缘与前述内部骨架各钢筋接触部均焊固连接成一体；水泥灌注于已焊固前述内部骨架的外围钢框中，前述内部骨架完全凝固在水泥中，并与前述外围钢框凝固成一体；其特征在于，于前述水泥凝固稳定后的上表面被覆有一使水泥与外界隔绝的保护膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈水源，陈水生，陈添丁，
申请(专利权)人：陈水源，陈水生，陈添丁，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
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