【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种改进的晶圆研磨定位环结构,尤指晶圆研磨定位环的环体由本体环与不锈金属环螺合而成,且于本体环下缘有复数个废物摔出槽。台湾专利公报公告第314485号,其揭露于相对以一定压力加压下旋转的板片上保持晶圆,在其与贴着于以一定相对速度作相对运动的研磨固定盘上的研磨布之间,介入研磨剂,并籍由复数个研磨过程,实施机械化学研磨的晶圆研磨方法,其中亦未揭露晶圆中心如何与旋转中心一致的技术。以往公知的晶圆研磨定位环整个环体全由塑胶制成,其上缘环形排列结合驱动件的复数个螺孔,是由金属制成螺筒嵌入或螺入,其位置正确度控制极为困难,以致不合格率过高,生产成本居高不下。公知晶圆研磨定位环下缘的复数个废物摔出槽,依环体旋转离心力方向制成,废物摔出的速度过高,会溅起污染周围设备。本技术的技术解决方案是一种改进的晶圆研磨定位环结构,其包括一环体,为正圆形无端环,于非金属本体环上部,其左旋螺纹螺合金属环,前述环体右旋可带动晶圆研磨,前述本体环不与前述金属环产生位移;前述金属环外周壁顶缘设有环形凸缘,前述环形凸缘上设有复数个用以结合驱动件定位、等距离环形排列的螺孔;复数个废物摔出槽,设于前述环体的本体环下缘,其为等距离排列内外两端开口、可减缓研磨时废物摔出的速度的凹槽;以及复数个出水孔,贯通前述环体内外,前述本体环出水孔连接前述金属环出水孔。如上所述的改进的晶圆研磨定位环结构,该本体环为由聚苯硫醚(PPS)、或聚醚醚酮(PEEK)、或聚酯等晶状材料制成的本体环;金属环为由不锈钢制成的金属环。如上所述的改进的晶圆研磨定位环结构,该废物摔出槽两侧壁可为弧形壁、或斜缘壁或两者各一 ...
【技术保护点】
一种改进的晶圆研磨定位环结构,其特征在于:其包括:一环体,为正圆形无端环,于非金属本体环上部,其左旋螺纹螺合金属环,前述环体右旋可带动晶圆研磨,前述本体环不与前述金属环产生位移;前述金属环外周壁顶缘设有环形凸缘,前述环形凸缘上设有复数个 用以结合驱动件定位、等距离环形排列的螺孔;复数个废物摔出槽,设于前述环体的本体环下缘,其为等距离排列内外两端开口、可减缓研磨时废物摔出的速度的凹槽;以及复数个出水孔,贯通前述环体内外,前述本体环出水孔连接前述金属环出水孔。
【技术特征摘要】
1.一种改进的晶圆研磨定位环结构,其特征在于其包括一环体,为正圆形无端环,于非金属本体环上部,其左旋螺纹螺合金属环,前述环体右旋可带动晶圆研磨,前述本体环不与前述金属环产生位移;前述金属环外周壁顶缘设有环形凸缘,前述环形凸缘上设有复数个用以结合驱动件定位、等距离环形排列的螺孔;复数个废物摔出槽,设于前述环体的本体环下缘,其为等距离排列内外两端开口、可减缓研磨时废物...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈水源,陈水生,陈添丁,
申请(专利权)人:陈水源,陈水生,陈添丁,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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