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一种改进的晶圆研磨定位环结构，其环体由非金属本体环上部左旋螺纹螺合金属环所构成。其中本体环下缘有复数个环形等距离排列的废物摔出槽；环体内外有贯穿本体环与金属环的复数个出水孔。本实用新型克服了公知技术的缺点，其环体由本体环与金属环结合而成，其...
该专利属于陈水源;陈水生;陈添丁所有，仅供学习研究参考，未经过陈水源;陈水生;陈添丁授权不得商用。

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