【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工设备，尤指一种晶圆加工设备的机台基座，其为申请号第01270341.9号，“一种晶圆加工设备的机台基座”的专利案的后续第二申请案，第一申请案已于2001年11月8日提出了申请。本技术的技术方案一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括由金属构成的金属骨架，其特征在于金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连而成，在金属框体的内部和外周利用模具及填充物灌注形成的填充体与金属框体及内部金属骨架构成一实心的整体式基座。本技术还可通过以下方案实现所述的填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊接或绕接成一组以上的矩形或三角形或圆形镂空骨架。所述填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊接或捆扎成网格状镂空骨架体。本技术由于在金属框架内部灌注填充物后，使基座内部空间充满凝固的填充物，不但使基座刚性、强度大为提高，而且，重量加大后更具稳定性。图2，为本技术内部金属骨架结构分布图。所述的填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊接或绕接成的、一组以上的矩形或三角形或圆形镂空内部金属骨架(参见附图说明图1、2)。所述的填充物为水泥或混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊接连成或绕接的网格状镂空内部金属骨架。内部金属骨架2成型方法，一般由若干根一定粗度的竹节钢筋以节点相连方式构成连续性的一整体，然后再以节点方式与外围钢框连接为一体，再将整体放置一与其配合使用的外部定形模具中，通过向模具中灌注填充物，使内部金属骨架凝固在填充物中，使外围钢框包覆结合在其外围，并与其固...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括由金属构成的金属骨架，其特征在于金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连而成，在金属框体的内部和外周利用模具及填充物灌注形成的填充体与金属框体及内部金属骨架构成一实心的整体式基座。2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈水源，陈水生，陈添丁，
申请(专利权)人：陈水源，陈水生，陈添丁，
类型：实用新型
国别省市：
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