超低功耗阻变非挥发性存储器、其制作方法及操作方法技术

技术编号:9382824 阅读:102 留言:0更新日期:2013-11-28 01:02
本发明专利技术公开了一种超低功耗阻变非挥发性存储器,包括:Si衬底;形成在该Si衬底之上的SiO2层;以及在该SiO2层表面形成的四端电极结构;其中,该四端电极结构包括第一至第四电极,四个电极呈顺时针方向排列,第一及第三电极相对构成上下电极对,第二及第四电极相对构成左右电极对,两个电极对的中心连线相互垂直。本发明专利技术还公开了一种超低功耗阻变非挥发性存储器的制作方法及操作方法。本发明专利技术提供的是一种简单的平面结构的电阻转变型存储器件,其特有的四端结构和特殊的器件操作方法可以得到极低的功耗,在有效降低功耗的同时,器件还具有良好的数据保持特性,有效地解决了功耗和数据保持之间的矛盾。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种超低功耗阻变非挥发性存储器,其特征在于,该超低功耗阻变非挥发性存储器包括:Si衬底;形成在该Si衬底之上的SiO2层;以及在该SiO2层表面形成的四端电极结构;其中,该四端电极结构包括第一至第四电极,四个电极呈顺时针方向排列,第一及第三电极相对构成上下电极对,第二及第四电极相对构成左右电极对,两个电极对的中心连线相互垂直。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙海涛杨洪璋刘琦吕杭柄牛洁斌张培文路程李友龙世兵谢常青刘明
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

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