【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）在E?Beam生长腔体中，放入样品台，然后将衬底放置于样品台上；2）将铝置于E?Beam生长腔体内，用高能电子束轰击膜料铝，使之表面产生很高的温度后由固态直接升华到气态，并沉积在衬底上，完成尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备。
【技术特征摘要】
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