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一种尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备方法技术
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文档序号:9194327
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一种尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备方法,涉及铝纳颗粒阵列的制备方法。提供可实现颗粒尺寸密度可调的一种尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备方法。在E-Beam生长腔体中,放入样品台,然后将衬底放置于样品台上;将铝置于E-Beam生长腔体内,用高...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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