【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于五氧化二钒多级纳米网络结构乙醇气体传感器元件的制备方法,具有以下步骤:(1)传感器叉指铂电极的制备将氧化铝传感器基底先后在丙酮溶剂、无水乙醇、去离子水中超声清洗并彻底烘干后置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室中,以高纯金属铂作为靶材,以质量纯度为99.999%的氩气作为工作气体,溅射工作压强为2.0Pa,溅射功率80~90W,溅射时间8~10min,基片温度为室温,在氧化铝表面形成叉指铂电极;(2)种子溶液的制备将偏钒酸铵溶于20ml的去离子水中,磁力搅拌,直到溶液变为浅黄色,加入适量的稀硝酸,使溶液的pH控制在2.1~2.5左右,形成浓度为0.05M~0.2M橙红色透明的种子溶液;(3)种子层的制备将步骤(2)中制备的偏钒酸铵种子溶液涂覆到步骤(1)制备的覆有叉指电极的氧化铝衬底上,然后置于退火炉中空气气氛退火处理,退火温度500~650℃,保温时间1~2h,升温速率2?3℃/min;(4)水热反应溶液的制备配制0.04M~0.08M的偏钒酸铵溶液,将偏钒酸铵溶于去离子水中,磁力搅拌,直到溶液变为浅黄色,加入适量的稀硝酸,使溶液的pH控制在2.1~2.5,形成橙红色透明的偏钒 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:秦玉香,范光涛,化得燕,刘凯轩,孙学斌,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:
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