一种基于二氧化钒的自适应辐射降温膜制备及其应用制造技术

本发明专利技术涉及一种二氧化钒薄膜/二氧化硅微球/low‑e玻璃的制备工艺。工艺步骤依次为二氧化硅微球的排布、钒金属的溅射和二氧化钒的退火，其中包括清洗基片，设置溅射参数，抽真空，常温下直流溅射，管式炉退火，设置反应温度、时间和气体氛围等基本操作流程。利用常温下直流溅射与管式炉热处理氧化的方式制备了复合薄膜的方案，实现了对辐射降温的自适应调节。本发明专利技术改变了传统辐射降温薄膜的单一性，增加了一定的可见光的透过率，在高温状态下太阳光吸收率较低，所提出的复合薄膜结构有利于建筑、航天的智能调控窗户的应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子器件设计与制作领域，特别是涉及复合薄膜的结构的制备；具体是设计了一种二氧化钒薄膜/二氧化硅微球/low-e玻璃的制备工艺。

技术介绍

0、技术背景

1、随着全球变暖、能源短缺等问题的日益严重，节能环保已经引发了人们的高度关注。窗户作为连接建筑内部与外界热量交换的通道，其能源流失约占建筑物总能耗的50％左右。因此，合理控制玻璃门窗的热量交换对于节约建筑能源尤为关键。在寒冷气候下，窗户不散失热量，降低了用于取暖的能耗。当天气炎热时，主动通过窗户辐射热量则可以减少制冷所需能源。因此，能够动态调节辐射率的智能窗则被认为是降低建筑能耗的关键技术之一。

2、二氧化钒(vo2)具备可逆金属-绝缘体(mit)相变特性，相变温度(68℃)接近室温，且相变前后结构和光学性质能够发生突变。由于相变温度接近室温，基于vo2的智能窗受到越来越多的关注。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、鉴于以上所述应用于窗户的自适应调节发射率，本专利技术提供了一种基于二氧化钒薄膜/二本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于二氧化钒的自适应辐射降温膜制备及其应用，该复合膜结构包括low-e玻璃、二氧化硅微球与二氧化钒薄膜，其特征在于创造性实现高温时发射热量、低温时保温，高温时太阳光波段近红外波段吸收率低，同时兼具一定的可见光透过。具体操作如以下步骤：

2.根据权利要求书1所述的一种基于二氧化钒的自适应辐射降温膜制备及其应用，其特征在于，所述步骤5中的退火工艺中，氧气的流量应处于1.5sccm至2.5sccm的范围内。

3.根据权利要求书1所述的一种基于二氧化钒的自适应辐射降温膜制备及其应用，其特征在于，所述步骤5中选用保持时间为40min。

【技术特征摘要】

1.一种基于二氧化钒的自适应辐射降温膜制备及其应用，该复合膜结构包括low-e玻璃、二氧化硅微球与二氧化钒薄膜，其特征在于创造性实现高温时发射热量、低温时保温，高温时太阳光波段近红外波段吸收率低，同时兼具一定的可见光透过。具体操作如以下步骤：

2.根据权利要求书1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁继然，李欣哲，杨哲，王朝阳，张成晔，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：