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本发明涉及一种二氧化钒薄膜/二氧化硅微球/low‑e玻璃的制备工艺。工艺步骤依次为二氧化硅微球的排布、钒金属的溅射和二氧化钒的退火，其中包括清洗基片，设置溅射参数，抽真空，常温下直流溅射，管式炉退火，设置反应温度、时间和气体氛围等基本操作流...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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