离子注入机特气导管安装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种离子注入机特气导管安装结构，离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接坩埚和起弧室的特气导管，起弧室包括两对应设置的侧板，特气导管与侧板相连接，其中，特气导管包括坩埚特气导管、侧板特气导管、以及连接坩埚特气导管和侧板特气导管的坩埚-侧板特气导管，坩埚-侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。本实用新型专利技术中当电离气体内的残余物流进特气导管内时，残余物会停留在特气导管的圆弧处，而不会掉落到特气导管的底部，有效地避免了特气导管与坩埚接头处的堵塞问题。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

离子注入机特气导管安装结构
本技术涉及半导体
，特别是涉及一种离子注入机特气导管安装结构。
技术介绍
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。离子注入机中使用固态源时，一般先将固态源气化后通入起弧室，特气导管与起弧室底部通过石墨接头竖直接触连接，由于特气导管通向起弧室的过程中有浮力，再加上特气导管过细，导致电离过程中残余物通过此竖直的特气导管很容易掉落到特气导管底部并累积，从而将特气导管的接口堵住，生产的气体无法进入起弧室，最终导致工艺停止。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种新的离子注入机特气导管安装结构。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种不会堵塞的离子注入机特气导管安装结构。为了实现上述目的，本技术实施例提供的技术方案如下:—种离子注入机特气导管安装结构，所述离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接所述坩埚和起弧室的特气导管，所述起弧室包括两对应设置的侧板，所述特气导管与侧板相连接，所述特气导管包括与坩埚连接的坩埚特气导管、与起弧室连接侧板相连的侧板特气导管、以及连接所述坩埚特气导管和侧板特气导管的一个或多个坩埚-侧板特气导管，所述至少一个坩埚-侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，所述侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。作为本技术的进一步改进，所述侧板特气导管及坩埚-侧板特气导管的圆弧弧度设为75°。作为本技术的进一步改进，所述侧板特气导管、坩埚特气导管及坩埚-侧板特气导管分离设置，相邻的导管相互嵌套设置。作为本技术的进一步改进，所述坩埚-侧板特气导管的内径等于所述侧板特气导管和坩埚特气导管的外径。作为本技术的进一步改进，所述相邻的导管相互嵌套的重叠距离设为3mm。作为本技术的进一步改进，所述侧板向外延伸设有侧板链接结构，所述侧板特气导管设于所述侧板链接结构内部，侧板特气导管与坩埚-侧板特气导管相连的一端位于侧板链接结构的下表面中央，侧板特气导管与起弧室相连的另一端位于侧板链接结构侧面上。作为本技术的进一步改进，所述侧板链接结构设为长方体或正方体，所述侧板链接结构的长和宽均为2cm。作为本技术的进一步改进，所述侧板链接结构与侧板为一体成型结构设置。本技术的有益效果是:本技术通过将特气导管设为相互嵌套的坩埚特气导管、侧板特气导管、及坩埚-侧板特气导管，特气导管弯曲设有呈锐角的圆弧，当电离气体内的残余物流进特气导管内时，残余物会停留在特气导管的圆弧处，而不会掉落到特气导管的底部，有效地避免了特气导管与坩埚接头处的堵塞问题；特气导管分离嵌套设置，结构简单、制造方便，特气导管损坏时可单独更换，节约了工艺成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一实施方式中离子注入机特气导管安装结构的示意图；图2为本技术另一实施方式中离子注入机特气导管安装结构的示意图。其中:10、坩埚；20、起弧室；30、特气导管；31、坩埚特气导管；32、侧板特气导管；33、坩埚-侧板特气导管；331、第一圆弧；332第二圆弧；321、第三圆弧。具体实施方式本技术公开了一种离子注入机特气导管安装结构，离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接坩埚和起弧室的特气导管，起弧室包括两对应设置的侧板，特气导管与侧板相连接，其中，特气导管包括与坩埚连接的坩埚特气导管、与起弧室连接侧板相连的侧板特气导管、以及连接坩埚特气导管和侧板特气导管的一个或多个坩埚-侧板特气导管，至少一个坩埚-侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。本技术通过将特气导管设为相互嵌套的坩埚特气导管、侧板特气导管、及坩埚-侧板特气导管，特气导管弯曲设有呈锐角的圆弧，当电离气体内的残余物流进特气导管内时，残余物会停留在特气导管的圆弧处，而不会掉落到特气导管的底部，有效地避免了特气导管与坩埚接头处的堵塞问题。为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。参图1所示，本技术的公开了一种离子注入机特气导管安装结构，该离子注入机包括坩埚10、起弧室20以及连接坩埚10和起弧室20的特气导管30，起弧室20包括两对应设置的侧板(未图示)，特气导管30与侧板相连接，其中，本技术中的特气导管30包括坩埚特气导管31、侧板特气导管32、以及一个或多个坩埚-侧板特气导管33，优选地，在本实施方式中只设有一个坩埚-侧板特气导管33。其中坩埚特气导管31与坩埚10相连，侧板特气导管32与起弧室20相连，坩埚-侧板特气导管33连接上述坩埚特气导管31与侧板特气导管32。本技术中的坩埚-侧板特气导管33为弯曲设置，坩埚-侧板特气导管33设有若干圆弧，如参图1所示，在本优选实施方式中，坩埚-侧板特气导管33设有两端相互连通的第一圆弧331和第二圆弧332，第一圆弧331和第二圆弧332均呈锐角设置，第一圆弧331的另一端与侧板特气导管32竖直连通，第二圆弧332的另一端与坩埚特气导管31竖直连通。本技术中第一圆弧331和第二圆弧332的弧度设为锐角，优选地，为了保证电离气体顺畅的通过特气导管，在本实施方式中将第一圆弧331和第二圆弧332的弧度设为75°，坩埚-侧板特气导管33总长度设为5cm。当起弧室10内电离产生残余物时，残余物可能会流入特气导管中，如此设计，残余物流入特气导管后，由于设计了若干呈锐角的圆弧结构，残余物会停留在特气导管的圆弧处，而不会掉落到特气导管的底部，有效地避免了特气导管与坩埚接头处的堵塞问题。另外，本技术中将侧板特气导管32上也相应地设有了第三圆弧321，第三圆弧321的弧度也设为锐角，优选地，本实施方式中也设为75°。如此设置可以保证电离气体水平进入起弧室20。坩埚特气导管31竖直设置，在其他实施方式中，坩埚特气导管31也可以设为带有锐角圆弧的结构。进一步地，本技术中的侧板特气导管32、坩埚特气导管31及坩埚-侧板特气导管33分离设置，相邻的导管相互嵌套设置。坩埚-侧板特气导管33的内径等于侧板特气导管32和坩埚特气导管31的外径，如此，坩埚-侧板特气导管33可以密封嵌套于侧板特气导管32和坩埚特气导管31内，优选地，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子注入机特气导管安装结构，所述离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接所述坩埚和起弧室的特气导管，所述起弧室包括两对应设置的侧板，所述特气导管与侧板相连接，其特征在于，所述特气导管包括与坩埚连接的坩埚特气导管、与起弧室连接侧板相连的侧板特气导管、以及连接所述坩埚特气导管和侧板特气导管的一个或多个坩埚?侧板特气导管，所述至少一个坩埚?侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，所述侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机特气导管安装结构，所述离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接所述坩埚和起弧室的特气导管，所述起弧室包括两对应设置的侧板，所述特气导管与侧板相连接，其特征在于，所述特气导管包括与坩埚连接的坩埚特气导管、与起弧室连接侧板相连的侧板特气导管、以及连接所述坩埚特气导管和侧板特气导管的一个或多个坩埚-侧板特气导管，所述至少一个坩埚-侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，所述侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。2.根据权利要求1所述的离子注入机特气导管安装结构，所述侧板特气导管及坩埚-侧板特气导管的圆弧弧度设为75°。3.根据权利要求1所述的离子注入机特气导管安装结构，其特征在于，所述侧板特气导管、坩埚特气导管及坩埚-侧板特气导管分离设置，相邻的导管相互嵌套设置。4.根据权利要求3所述的离子注入机特气...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾广庆，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：