一种宽带束束流检测的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术阐述了一种宽带束束流检测的方法与装置，装置包括移动法拉第杯(1)，测束法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，信号转换器板(10)，计算机(13)，电机(14)。信号转换板(10)包含信号输入端(8)，(9)，选择信号输出端(11)。计算机(13)包含束流信号输入端(12)。本发明专利技术特征：测束法拉第杯(2)，(4)，(6)并联后连接到(8)信号输入端，测束法拉第杯(3)，(5)，(7)并联后连接到(9)信号输入端，通过选择输出端(11)选择不同输入端，利用这些装置，在Windows?XP系统下，以多媒体计时器技术为驱动时钟，通过两次移动法拉第杯(1)的移动，计算出束流大小，角度及均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及离子注入机的束流检测。通过采用多个测束法拉第杯并联后积分来得到宽带束束流值以及角度值。
技术介绍
半导体集成电路制造工艺已发展到12英寸晶片、纳米技术节点时期。随着晶圆片尺寸越来越大，单元器件尺寸越来越小，对半导体工艺设备的性能要求也就越来越高。离子注入机是半导体集成电路器件制造工艺中必不可少的关键设备。为了提高离子注入机的性能，使其满足现代大晶圆片、纳米器件生产工艺的要求和适应将来半导体工艺技术的发展，必须要开发高效的全自动控制系统。在进行束流检测处理时，通过移动法拉第的往复运动来检测束流的状况。束流状况包括束流的大小，束流的角度，束流的均匀性情况。通过电机带·动移动法拉第来同运动，会使的测束法拉第杯接收到的束流之发生变化，由此，可以根据移动法拉第移动过程中，接收到的束流值的峰值与测束法拉第杯接收的束流值的谷值，通过算法可以算出束流的角度值。均匀性的测量也是一个复杂的过程。在移动法拉第移动的过程中，测束法拉第杯同实际电机编码位置对应的值，即为此处的电流值。而在实际的测量过程中，这种同步或者测量时实现不了的，必须通过一定的方法和算法间接求得。专利技术内容本专利技术主要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种宽带束束流检测的方法与装置其特征在于：装置中共用了六个测束法拉第(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)来作为束流接收杯。

【技术特征摘要】
1.一种宽带束束流检测的方法与装置其特征在于:装置中共用了六个测束法拉第(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)来作为束流接收杯。2.一种宽带束束流检测的方法与装置其特征在于:此束流检测是在Windows XP操作系统下进行的，采用了 Windows操作系统的多媒体计时器技术来作为实时响应触发器。3.一种宽带束束流检测的方法与装置其特征在于:包含两路信号输入端(8)，(9)，通过选择输入端(11)来进行束流输入端选择。4.一种宽带束束流检测的方法与装置其特征在于:移动法拉第移动(I)移动两次计算出束流大小，角度以及均匀性。5.一种宽带束束流检测的方法与装置其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文龙，彭立波，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：