一种ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法技术

一种ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法，涉及一种纳米颗粒阵列。将薄膜太阳能电池表面进行清洗后，利用反应离子刻蚀系统对电池表面进行活化处理，获得具有亲水性表面的薄膜太阳能电池；在薄膜太阳能电池表面上采用旋涂法自组装单层PS球阵列；利用反应离子刻蚀系统调控单层聚苯乙烯纳米球的直径和间隙，得到表面具有不同直径和间距的单层聚苯乙烯纳米球的薄膜太阳能电池；在得到的薄膜太阳能电池表面沉积一层ZnO薄膜，在太阳能电池表面得到聚苯乙烯纳米球/氧化锌薄膜的核壳层结构；将得到的薄膜太阳能电池在氮气氛围内退火，在太阳能电池表面得到ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列。提高太阳能电池的光电转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种纳米颗粒阵列。尤其涉及用在太阳能电池表面以提高太阳能电池效率的。
技术介绍
当煤炭、石油等不可再生能源频 频告急，能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈时，越来越多的国家开始实行“阳光计划”，开发太阳能资源，寻求经济发展的新动力。中国的能源需求将长期持续增长。目前中国能源消费量达到22亿吨，已面临严峻的能源安全问题、环境污染问题等，在今后15年内增加十几亿吨的一次能源供应，是一个非常大的挑战，中国必须进一步寻求可持续的能源消费和供应途径。作为太阳能利用的重要方面，光伏发电是一种清洁的、用之不竭的可再生绿色新能源，受到越来越多的关注。近年来全球光伏产业发展速度迅猛，而我国光伏产业规模己经稳居全球第一。太阳能电池在生产和应用中面临的两个重要问题一是太阳能光电转换效率不高；二是生产成本过高。因此解决太阳能电池的光吸收率和光电转换效率显得尤为重要。在太阳能电池表面制作纳米结构可以有效增加太阳能电池对光的吸收，提高太阳能电池的转换效率。纳米结构可以通过折射和散射等将入射光有效耦合进太阳能电池有源区以增加光的吸收效率。大量研究证明，在太阳能电池表面制作纳米结果有利于提高太本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）将薄膜太阳能电池表面进行清洗后，利用反应离子刻蚀系统对电池表面进行活化处理，获得具有亲水性表面的薄膜太阳能电池；2）在步骤1）中得到的具有亲水性表面的薄膜太阳能电池表面上采用旋涂法自组装单层PS球阵列；3）利用反应离子刻蚀系统调控单层聚苯乙烯纳米球的直径和间隙，得到表面具有不同直径和间距的单层聚苯乙烯纳米球的薄膜太阳能电池；4）利用磁控溅射技术在步骤3）得到的表面具有不同直径和间距的单层聚苯乙烯纳米球的薄膜太阳能电池表面沉积一层ZnO薄膜，在太阳能电池表面得到聚苯乙烯纳米球/氧化锌薄膜的核壳层结构；5）将步骤4）得到的薄...

【技术特征摘要】
1.一种ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤 1)将薄膜太阳能电池表面进行清洗后，利用反应离子刻蚀系统对电池表面进行活化处理，获得具有亲水性表面的薄膜太阳能电池； 2)在步骤I)中得到的具有亲水性表面的薄膜太阳能电池表面上采用旋涂法自组装单层PS球阵列； 3)利用反应离子刻蚀系统调控单层聚苯乙烯纳米球的直径和间隙，得到表面具有不同直径和间距的单层聚苯乙烯纳米球的薄膜太阳能电池； 4)利用磁控溅射技术在步骤3)得到的表面具有不同直径和间距的单层聚苯乙烯纳米球的薄膜太阳能电池表面沉积一层ZnO薄膜，在太阳能电池表面得到聚苯乙烯纳米球/氧化锌薄膜的核壳层结构； 5)将步骤4)得到的薄膜太阳能电池在氮气氛围内退火，在太阳能电池表面得到ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列。2.如权利要求1所述的一种ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于在步骤I)中，所述薄膜太阳能电池选自硅薄膜太阳能电池、铟磷镓砷单结及多节太阳电池、氮化物系列太阳电池中的一种。3.如权利要求1所述的一种ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于在步骤I)中，所述薄膜太阳能电池采用已制作过减反射层的表面。4.如权利要求1所述的一种ZnO球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于在步骤I)中，所述清洗采用有机溶剂进行超声清洗。5.如权利要求4所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李静，尹君，岳闯，臧雅姝，何绪，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：