一种全背电极n型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种全背电极n型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺，包括步骤：（1）表面制绒；（2）双面磷扩散；（3）背面局部区域保护；（4）背面单面去除保护层外磷硅玻璃层；（5）腐蚀去除保护层外的磷扩散层；（6）去除保护层和磷硅玻璃层，形成前表面场和背表面场。本发明专利技术通过改进制备工艺使电池在生产过程中同时形成前表面场和背表面场，能够有效节约制备时间，降低生产成本，有利于提高市场竞争力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种全背电极η型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺。
技术介绍
η型电池由于其高效和低衰减特性在未来市场上会占有越来越多的比重，而全背电极结构是η型电池最为重要的发展方向之一，具有光电转换效率高、外观漂亮的独特优点，特别适合于光伏建筑一体化。目前，只有Sunpower公司能够规模化生产效率超过20. 0%的η型全背电池太阳电池，最高效率达到24. 2%。但Sunpower公司采用多次高温扩散、高温氧化、掩膜、化学腐蚀等过程以形成磷前表面场、磷背表面场、硼背发射极和局部硼重掺杂 接触窗口，工艺非常复杂，设备投入大，成本远高于常规电池。为了提高该电池的竞争力，有必要开发一些新工艺，并对该工艺流程进行简化，从而降低成本。
技术实现思路
专利技术目的针对上述问题，本专利技术的目的是提供一种工艺简单生产成本低廉的全背电极η型电池的制备方法。技术方案本专利技术提供一种全背电极η型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺，包括以下步骤 Ca)双面制绒硅片在碱性溶液中腐蚀2(T40min，溶液温度为70°C 95°C ； (b)双面磷扩散扩散方阻为50 150ohm/sq ； (c本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全背电极n型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺，其特征在于：包括以下步骤（a）双面制绒：硅片在碱性溶液中腐蚀20~40min，溶液温度为70℃~95℃；（b）双面磷扩散：扩散方阻为50~150?ohm/sq；（c）背面局部区域保护：背面BSF区域采用喷墨打印或丝网印刷阻挡材料作为腐蚀保护层；（d）背面单面去除保护层外磷硅玻璃层：去除背面磷硅玻璃层PSG；（e）腐蚀去除保护层外的磷扩散层：腐蚀去除发射极区域的n+层；（f）形成前表面场和背表面场：去除保护层和PSG层，形成前表面场FSF和背表面场BSF。

【技术特征摘要】
1.一种全背电极η型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺,其特征在于包括以下步骤 Ca)双面制绒硅片在碱性溶液中腐蚀2(T40min，溶液温度为70°C 95°C ； (b)双面磷扩散扩散方阻为50 150ohm/sq ； (c)背面局部区域保护背面BSF区域采用喷墨打印或丝网印刷阻挡材料作为腐蚀保护层； Cd)背面单面去除保护层外磷硅玻璃层去除背面磷硅玻璃层PSG ； Ce)腐蚀去除保护层外的磷扩散层腐蚀去除发射极区域的η+层； Cf)形成前表面场和背表面场 去除保护层和PSG层，形成前表面场FSF和背表面场BSF。2.根据权利要求1所述的一种全背电极η型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺，其特征在于所述步骤(b)扩散方阻为5(Tl50 ohm/sq ;扩散方式为管式P0C13源扩散或喷涂磷源在线式扩散。3.根据权利要求1所述的一种全背电极η型电池前表面场和后...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶龙忠，邢国强，董经兵，杨灼坚，夏正月，朱彦斌，
申请(专利权)人：奥特斯维能源太仓有限公司，
类型：发明
国别省市：