本实用新型专利技术公开了一种旋转驱动的变节距夹具,包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板以及两根拨杆,所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部,中间为渐变斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述间隙中;每根拨杆依次穿过同一侧的所有间距垫片的卡孔。本实用新型专利技术的旋转驱动的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距,从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
本技术属于光伏硅片生产设备
,尤其涉及光伏硅片生产设备中的用于倒片的旋转驱动的变节距夹具。
技术介绍
为了提高光伏硅片扩散工艺的产能,在不改变工艺主设备的情况下,将硅片载具石英舟节距变小(如从4. 76mm变为4. 05mm)是最为便捷和广泛采用的方法。扩散工艺进行之前,硅片需要从另一种载具花篮倒入石英舟;工艺完成之后,硅片需要从石英舟倒入花篮以便将硅片传送到下一道工艺。因为工艺间的硅片传送都采用4. 76mm的花篮,所以当石英舟节距为4. 76mm时,人工倒片时,只需将两个载具对齐就可以将硅片从一个载具推至另一个载具。但是当石英舟节距不是4. 76_时,就不能采用这种方法。目前采用的人工倒片方 法是用吸盘一片一片将硅片从一个载具吸起然后插入另外一个载具。这种方法效率低下,劳动强度大,且碎片率不可控。
技术实现思路
为此,本技术所要解决的技术问题是提供一种旋转驱动的变节距夹具,该变节距夹具可以快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片,以克服现有技术存在的不足。为解决上述技术问题,本技术采用如下的技术方案一种旋转驱动的变节距夹具,其特征在于包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板以及两根拨杆,所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部,中间为渐变斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述间隙中;每根拨杆依次穿过同一侧的所有间距垫片的卡孔。所述两根拨杆由同步带进行连接。所述卡孔和所述拨杆的截面均为方形。在本技术的具体实施方式中,所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽,所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。这样,侧板能够约束硅片搁置板沿侧板内表面上下竖向滑动。为了减小与硅片的摩擦,以使得硅片能够容易和方便的推入和推出硅片搁置板,所述硅片搁置板具有掏空区域。采用上述技术方案,本技术的旋转驱动的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距,从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。以下结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明图I为本技术的结构示意图。图2为本技术的侧板结构示意图;图3为本技术的硅片搁置板的结构示意图;图4为本技术的间距垫片的结构示意图;图5为本技术的拨杆的结构示意图。具体实施方式如图I所示,本技术的旋转驱动的变节距夹具,包括框架、多层硅片搁置板 200、多块间距垫片300以及两根拨杆501。其中,框架由ー个顶板、ー个底板以及两块分立于左右两侧的侧板130合围而成, 框架的前后形成开ロ,可以让硅片进出(图I中顶板和底板未显示)。如图2所示,侧板130的内表面位于两侧具有竖向延伸的滑槽131,中间具有竖向 延伸的条状缺ロ 132。如图3所示,姆块娃片搁置板200的厚度为2mm,两端分别具有两个凸出滑块201。 装配时,该硅片搁置板200的凸出滑块201位于侧板130的滑槽131内。这样,硅片搁置板 200在侧板130的滑槽131的约束下,可沿着侧板130上下运动。为减小与硅片的摩擦,以 使得硅片能够方便容易的推入和推出硅片搁置板,硅片搁置板200的前后侧均具有掏空区 域 202。如图4所示,间距垫片300为圆形,中间具有方形的卡孔305。装配吋,结合图I所 示,每块间距垫片300的薄部是插入相邻硅片搁置板200形成的间隙中。如图5所示,拨杆501的截面为方形。结合图I所示,每根拨杆501依次穿过同一 侧的所有间距垫片300的卡孔305。两根拨杆501之间的通过同步带(图I中未显示)连接。两根拨杆501之间安装 有同步带实现了拨杆501能同时驱动间距垫片300旋转,保证两侧的间距垫片300的厚部 302能够同时插入或拔出硅片搁置架之间的间隙。以上就是本技术的旋转驱动的变节距夹具,结合图I所示,其工作方式如下旋动拨杆501,进而驱动两侧的间距垫片300同时旋转,使得间距垫片的薄部和厚 部可以交替进入硅片搁置板之间的间隙。在起始状态,间距垫片的薄部位于硅片搁置板之间的间隙中,这时,搁置在硅片搁 置板上的上下硅片之间的距离为4. 05_。通过旋转,当间距垫片的厚部插入硅片搁置板之间的间隙中吋,这时搁置在硅片 搁置板上的上下硅片之间的距离就变为4. 76mm。再通过旋转,当间距垫片的薄部位于硅片搁置板之间的间隙吋,这时搁置在硅片 搁置板上的上下硅片之间的距离又变回4. 05mm。通过上述详细描述,可以看出,本技术的旋转驱动的变节距夹具可以快速变 换硅片之间的间距,从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。权利要求1.一种旋转驱动的变节距夹具,其特征在于包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板以及两根拨杆,所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部,中间为渐变斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述间隙中;每 >根拨杆依次穿过同一侧的所有间距垫片的卡孔。2.根据权利要求1所述的旋转驱动的变节距夹具,其特征在于所述两根拨杆由同步带进行连接。3.根据权利要求1所述的旋转驱动的变节距夹具,其特征在于所述卡孔和所述拨杆的截面均为方形。4.根据权利要求1所述的旋转驱动的变节距夹具,其特征在于所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽,所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。5.根据权利要求1所述的旋转驱动的变节距夹具,其特征在于所述硅片搁置板具有掏空区域。专利摘要本技术公开了一种旋转驱动的变节距夹具,包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板以及两根拨杆,所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部,中间为渐变斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述间隙中;每根拨杆依次穿过同一侧的所有间距垫片的卡孔。本技术的旋转驱动的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距,从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。文档编号H01L21/687GK202839582SQ201220518668公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日专利技术者朱绍明, 戴军 申请人:苏州罗博特科自动化设备有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种旋转驱动的变节距夹具,其特征在于:包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板以及两根拨杆,所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部,中间为渐变斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述间隙中;每根拨杆依次穿过同一侧的所有间距垫片的卡孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱绍明,戴军,
申请(专利权)人:苏州罗博特科自动化设备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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