【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于石英容器涂层领域，特别涉及一种用于石英坩埚氢氧化钡涂层装置的喷雾系统。
技术介绍
石英坩埚本身是非晶质的介态能，在适当的条件下他会发生相变化而形成稳定的白矽石结晶态，随着单晶拉制时间的增加，可能使得白矽石结晶整个剥落。这些剥落的白矽石颗粒，随着流动而飘动在溶液中。大部分的颗粒，在一定时间之后即可完全溶解于溶液内。然而仍有些几率，部分较大的颗粒在未完全溶解之前，即撞倒晶棒的表面，而导致位错的产生。产生位错的机率随着石英坩埚的使用时间及温度增加而增加。 近来研究发现，将石英坩埚壁涂上一层含有结晶水的氢氧化钡(Ba(OH)2. SH2O)，这层氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡。而当这种石英坩埚在单晶炉上被加热时，碳酸钡会分解形成氧化钡，随着氧化钡与石英坩埚反应形成矽酸钡(BaSiO3X由于矽酸钡的存在，使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的白矽石结晶。这种微小的白矽石结晶很难被溶液渗入而剥落，即使剥落也很快被溶液溶解掉，因此可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率。另外在石英坩埚内壁表面形成一层白矽石结晶的好处，是它可以增加石英坩埚的强度，减少...
【技术保护点】
一种用于石英坩埚氢氧化钡涂层装置的喷雾系统，包括药液循环加热机构、氮气保护机构、供液机构和二氧化碳供应机构；所述循环加热机构包括气动隔膜泵、药液箱、温度传感器和U型加热管，所述气动隔膜泵通过管道分别与药液箱的上、下方连接，药液箱内设有测量药液箱内液体温度的温度传感器和U型加热管；所述氮气保护机构包括第一进氮气管道、排空气管道、氮气流量调节阀、水箱、药液箱上方手动阀、水箱上方手动阀和排气阀，所述第一进氮气管道分别与水箱和药液箱连接，第一进氮气管道上设有氮气流量调节阀，所述排空气管道分别与水箱和药液箱连接，排空气管道上设有药液箱上方手动阀、水箱上方手动阀和排气阀；所述供液机构包...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宝昌，刘爱军，金军，李鹏飞，邵天聪，冯涛，
申请(专利权)人：江苏华尔光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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