玻璃管及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种玻璃管及其制造方法，玻璃管包括空腔和第一层氮化硅薄膜，其中第一层氮化硅薄膜设置在空腔内侧表层上。本发明专利技术玻璃管因在空腔的内侧表层形成第一层氮化硅薄膜，使玻璃管增加了耐蚀性和对高温的承受度。本发明专利技术玻璃管的制造方法可制造出所述玻璃管。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤其涉及一种耐高温、抗腐蚀性好的高强度气体放电灯管及其制造方法。
技术介绍
目前高强度气体放电灯(High Intensity Discharge,简称HID)广泛应用于需要高质量、高亮度光线的地方。这些地方包括体育馆、大面积的公共区域、电影院、道路等，高强度气体放电灯几乎无所不在。一般高强度气体放电灯的灯管材料种类有两种，分别为石英管和陶瓷管。陶瓷管 能耐高温、抗腐蚀性也较好。可惜的是，陶瓷管原料取得不易、价钱昂贵且灯芯制作困难，故目前还是以石英管为主要的灯管材料，但石英管却又存在着工作温度承受度较低、抗腐蚀性差等缺点。因此，如何提升石英管的工作温度及耐腐蚀性已成为目前高强度气体放电灯亟欲解决的课题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的就是在于提供一种玻璃管的制造方法，以制造出具有较好的抗腐蚀性以及可承受较高工作温度的玻璃管。本专利技术的另一目的在于提供一种玻璃管，其具有较好的抗腐蚀性以及可承受较高的工作温度。本专利技术提出一种玻璃管的制造方法，首先提供玻璃管，此玻璃管具有内侧表层，接着在内侧表层上形成第一层氮化娃薄膜。在本专利技术的一个实施例中，上述形成第一层氮化硅薄膜的方法包括下列步骤提供多种反应气体，并对这些反应气体进行热裂解制程而形成第一层氮化硅薄膜。在本专利技术的一个实施例中，上述热裂解制程通入的反应气体包括氢化硅、氮氧化合物二氯娃烧以及氢气，并以氨气为催化剂。在本专利技术的一个实施例中，上述热裂解制程温度为300°C 1100°C。在本专利技术的一个实施例中，上述热裂解制程时间为I秒 300秒之间。在本专利技术的一个实施例中，上述第一层氮化硅膜厚为0. IyM以上。在本专利技术的一个实施例中，上述玻璃管的制造方法还包括下列步骤在此玻璃管的外侧表层上形成第二层氮化娃薄膜。在本专利技术的一个实施例中，上述第一层氮化硅薄膜和第二层氮化硅薄膜是在同一制程中形成。在本专利技术的一个实施例中，上述玻璃管的材质为石英。上述玻璃管应用于高强度气体放电灯。本专利技术还提出一种玻璃管，包括空腔和第一层氮化硅薄膜。其中空腔具有内侧表层，上述第一层氮化硅薄膜即设置在内侧表层上。在本专利技术的一个实施例中，上述空腔还具有外侧表层，而外侧表层上设置有第二层氮化娃薄膜。本专利技术因在玻璃管的内侧表层形成一层氮化硅薄膜，氮化硅是抗腐蚀、耐高温的良好素材，而此氮化硅薄膜就如同一层保护层使玻璃管具备不易腐蚀、不易和其它物质接触产生化学反应导致变质以及能承受高温的优点，这样便改善了原本玻璃管耐蚀性差和高温承受度低的缺点。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。 附图说明图IA到IB为本专利技术的一个制程实施例中的步骤示意图。图IC为本专利技术另一个制程实施例所形成玻璃管的构造示意图。图ID为本专利技术又一个制程实施例所形成玻璃管的构造示意图。图2A为本专利技术的一个实施例中高强度气体放电灯的剖面示意图。图2B为本专利技术的一个实施例中高强度气体放电灯的剖面示意图。图2C为本专利技术的一个实施例中高强度气体放电灯的剖面示意图。具体实施例方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的其具体实施方式、方法、步骤、结构、特征及功效，详细说明如后。本案方法可应用于各类玻璃管的制造过程，但以下的实施例为便于举例，均以玻璃管中的石英管为例作为说明。图1A、1B、1C均为本专利技术的一个制程实施例中的剖面示意图。请参考图1A，首先提供石英管100，此石英管100具有空腔102，此空腔102具有内侧表层106，而空腔102相对两端分别向外延伸出两开口 104。请参考图1B，在内侧表层106上形成第一层氮化硅薄膜108。形成第一层氮化硅薄膜108的目的在于使石英管100具有抗腐蚀和耐高温的功效，以改善石英管原本的缺点。详细来说，形成第一层氮化硅薄膜108的方法包括下列步骤提供多种反应气体110，将这些反应气体110由石英管100的开口 104通入管中，这些反应气体110在管中进行热裂解制程，制程温度设定为300摄氏度 1100摄氏度(°C)，制程时间控制约为I秒 300秒，形成的第一层氮化硅薄膜108的膜厚度约为0. I微米(ii M)以上。在本实施例中，提供的反应气体110包括多种氮氧化合物(二氧化氮、一氧化氮、一氧化二氮)、氢化娃、二氯娃烧以及氢气等气体，并以氨气为催化剂。值得注意的是，形成氮化硅薄膜的方法很多，而形成氮化硅薄膜所需的反应物组合也不在少数，例如二氯硅烷(SiCl2H2)加上氨气反应形成氮化硅薄膜或者二氧化氮、氢化硅加上氨气为催化剂，热裂解以产生氮化硅薄膜。本实施例以提供二氧化氮、氢化硅，并加上氨气为催化剂来进行热裂解制程为例做说明，但并非将本专利技术限定于此。除此之外，请参考图1C，在此石英管100的外侧表层上114，也可以热裂解法形成第二层氮化硅薄膜112。在本实施例中，是将石英管100暴露于二氧化氮、氢化硅中在氨气的催化下则同时会在内侧表层106上形成第一层氮化娃薄膜108和在外侧表层114上形成第二层氮化娃薄膜112,也就是说第一层氮化娃薄膜108和第二层氮化娃薄膜112可在同一制程中形成。当然，在本专利技术的另一个实施例中，请参考图1D，也可在外侧表层114上单独形成第二层氮化硅薄膜112。上述的玻璃管也可应用于各式灯具，例如高压汞灯、氙气灯、金属卤化物等高强度放电灯，以及卤素灯内部的灯泡泡壳材料或外部的玻璃壳材料等。为使读者更加了解本专利技术，以下将以高强度气体放电灯为例来说明本专利技术的玻璃管的应用领域。图2A、2B、2C所示均为本专利技术的一个实施例中高强度气体放电灯的剖面示意图。请参考图2A，高强度气体放电灯包括石英管100、两个电极202、两个钥箔204、两根电极导线206、两根电流导线208。其中，石英管100包括空腔102和第一层氮化硅薄膜108，空腔102中充满可电离供发光的气体,简称发光气体,例如氣气。空腔102具有内侧表层106和外侧表层114，第一层氮化硅薄膜108设置在内侧表层106上。除此之外，请参考图2B，第 二层氮化硅薄膜112也可设置在石英管100的外侧表层114。当然，请参考图2C，也可同时将第一层氮化娃薄膜108设置在内侧表层106上,及第二层氮化娃薄膜112设置在外侧表层114上。而设置氮化硅薄膜的目的在于使石英管100具有抗腐蚀和耐高温的功效，以改善石英管100本身的缺点。两电极202配置在空腔102内，通以电压时可激发空腔中的氙气游离，氙气游离会在两电极202间产生强电弧光而使高强度气体放电灯持续发光。除此之外，请继续参考图2C，另有两个密封颈部210分别设置在空腔102相对两端向外延伸处，钥箔204则配置在密封颈部210内，以钥箔204封装石英管100是为了因应高强度气体放电灯放电前后极大温差导致的热胀冷缩。电极导线206和电流导线208分别配置在每一钥箔204的两端，电极导线206与相对应的电极202相连，而电流导线208则延伸出密封颈部210用以与外部电路(图未示)相连。综上所述，本专利技术的玻璃管因在内侧表层形成一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃管的制造方法，其特征是：所述方法包括：提供玻璃管，所述玻璃管具有内侧表层；以及在所述内侧表层上形成第一层氮化硅薄膜。

【技术特征摘要】
2011.09.05 TW 1001319791.一种玻璃管的制造方法，其特征是所述方法包括 提供玻璃管，所述玻璃管具有内侧表层；以及 在所述内侧表层上形成第一层氮化娃薄膜。2.根据权利要求I所述的玻璃管的制造方法，其特征是形成所述第一层氮化硅薄膜的方法包括下列步骤 提供多种反应气体；以及 对所述多种反应气体进行热裂解制程而形成所述第一层氮化硅薄膜。3.根据权利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是所述热裂解制程通入的所述多种反应气体包括氢化娃、氢气、氮氧化合物以及二氯娃烧，并以氨气为催化剂。4.根据权利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是所述热裂解制程温度为300。。 1100。。。5.根据权利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是所述热裂解制程时间为I秒 300秒之间。6.根据权利要求I所述的玻璃管的制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈隆，冯辉祥，
申请(专利权)人：华灯光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：