薄膜形成装置以及薄膜形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明专利技术中，是具备吸附保持涂敷对象物（100）的吸附工作台（9）、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台（9）上的涂敷对象物（100）的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头（4）、使涂敷头（4）在涂敷对象物（100）的上方位置移动的龙门架（3）的薄膜形成装置（1），其中，龙门架（3）还具备将涂敷对象物（100）的表面加热的热源装置（31）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及喷墨方式的。
技术介绍
喷墨方式是从作为涂敷头的利用了气泡或者压电元件的喷墨涂敷头每次少量且高精度地排出作为涂敷材料的墨液滴的方式。将通过该墨液滴的高精度的排出向作为涂敷对象的部件涂敷墨液滴的处理装置化了的装置是喷墨涂敷装置。近年，它作为能够实现墨的高精细的涂敷的装置受到瞩目，并不限于对纸的印刷，在所有的产业领域探求其应用可能性，也有已被实用化的装置。在涂敷头的下面前端以规定的间距设置多个喷嘴，根据该喷嘴的间距决定作为涂敷材料的液滴的排出间隔。由于该喷嘴的间距小，能够按照每个喷嘴个别地管理排出的有 无，所以，不需要柔性版印刷法那样的版型，能够进行平面内的自由形状的涂敷。另一方面，由于调整涂敷材料的粘度，以便能够进行从喷嘴排出液滴，所以，在排出后的基板上产生涂敷材料的润展。因此，一滴液滴和相邻的一滴液滴生成的面形状的稳定性成为问题，尤其是在面形状的最外周的线形状对制作物的品质有很大影响。例如，专利文献I是通过喷墨头将定向膜材料排出，使之附着在基板上的文献。在进行干燥固化形成定向膜的方法中，表示了向用于做成适合喷墨中的排出的粘度的定向膜材料添加的表面张力调整的溶剂、脱气溶剂。它是欲提高喷墨的排出动作和排出后的基板上的水平性的方法，是就干燥固化而言，作为另外的工序向下一个进行干燥的装置转移的方法(参见非专利文献I)。在先技术文献专利文献专利文献I :专利第3073493号公报非专利文献非专利文献I :岩井善弘·越石健司著《液晶· rop ·有机EL彻底比较》、初版、株式会社工业调查会、2004年7月、P50-58至此，在要求喷墨方式的涂敷中的高涂敷位置精度、膜厚的均匀性方面，主要着眼于作为目标的涂敷间隔和涂敷头的喷嘴间距的相对的位置关系。但是，在逐渐将喷墨方式的涂敷在各个领域灵活应用方面，在进行涂敷的时刻的动作的基础上，对从刚刚涂敷后到进行干燥并粘合在基板上为止怎样进行管理也是重要的。尤其是在应用在液晶玻璃基板的制造的事例中，随着基板大型化的进展，成为怎样的粘合状态变得极其重要。因此，希望通过喷墨方式来管理位置，进行涂敷，迅速进行干燥，以便能够保持被管理的位置。但是，在非专利文献I所示那样的以往的方法中，在一系列涂敷处理结束后，进行干燥处理。因此，在从涂敷处理开始到设定在干燥装置上，开始干燥处理为止的期间，没有进行干燥处理。因此，存在在到开始干燥处理为止的期间，涂敷在玻璃基板上的液滴运动或因液滴间的重叠而产生的水平在无意的状态下连锁性地产生的可能性。因此，本专利技术以提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的为课题。
技术实现思路
为了解决这样的课题，本专利技术是一种薄膜形成装置，所述薄膜形成装置具备吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架，其特征在于，上述龙门架还具备将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置。专利技术效果 根据本专利技术，能够提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的。附图说明图I是表示有关本实施方式的薄膜形成装置的结构的立体图。图2是说明龙门架的背面侧的构造的结构示意图。图3是头恢复装置的放大图。图4是说明头恢复装置的动作的示意图。图5是说明控制部的功能的功能块图。图6是说明有关本实施方式的薄膜形成装置的薄膜形成方法的流程图。图7是说明外框涂敷工序的流程图。图8是说明内面涂敷工序的流程图。图9是说明有关本实施方式的薄膜形成装置的外框涂敷工序的示意图，Ca)表示去路时，(b)表示归路时。图10是说明有关变形例的薄膜形成装置的龙门架的构造的结构示意图。图11是说明有关变形例的薄膜形成装置的外框涂敷工序的示意图，(a)表示去路时，(b)表示归路时。具体实施例方式下面，一面恰当地参照附图，一面详细地说明用于实施本专利技术的方式(下称“实施方式”)。另外，各图中，对共通的部分标注相同的符号，省略重复的说明。图I是表示有关本实施方式的薄膜形成装置I的结构的立体图。有关本实施方式的薄膜形成装置I有平板·面板·显示器、应用了电泳方式等的被称为柔性·显示器的柔韧地弯曲的电子纸等多种多样的用途。在下面的说明中，有关本实施方式的薄膜形成装置I作为相对于用于平板·面板·显示器的玻璃基板100形成(涂敷)聚酰亚胺的薄膜的装置来说明。另外，虽然在有关本实施方式的薄膜形成装置I中，形成(涂敷)在玻璃基板100上的聚酰亚胺的薄膜是通过进行正式干燥处理以及定向处理(研磨)而成为定向膜，但是，在本说明中，将正式干燥处理·定向处理前的薄膜也称为“定向膜”。薄膜形成装置I具备架台2、龙门架3、具有多个涂敷头4的涂敷头单元5、X轴移动机构6、Y轴移动机构7、Ζ轴移动机构8、对作为形成(涂敷)定向膜的对象的玻璃基板100进行真空吸附并进行固定的吸附工作台9、头恢复装置10、热源装置31、调准照相机32 (参见图2)、调准照相机移动机构33 (参见图2)、控制部50 (参见图5)。另外，在下面的说明中，如图I所示，将架台2的长度方向(龙门架3的移动方向)作为X轴，将架台2的宽度方向(在水平面上与X轴正交的方向)作为Y轴，将竖直方向作为Z轴，进行说明。另外，将龙门架3向X轴的正方向移动作为去路，将向X轴的负方向移动作为归路，进行说明。龙门架3是在与架台2之间具有开口 3a的门型龙门架，经X轴移动机构6被设置在架台2之上。在龙门架3的归路侧经Y轴移动机构7以及Z轴移动机构8设置具有多个涂敷头 4的涂敷头单元5。在龙门架3的去路侧设置热源装置31。另外，在龙门架3的去路侧经调准照相机移动机构33 (参见图2)设置调准照相机32 (参见图2)。X轴移动机构6是由设置在架台2上的定子(磁板)6a和设置在龙门架3上的动子(线圈)6b构成的线性马达执行器，能够相对于架台2使龙门架3在X轴方向移动。Y轴移动机构7是由设置在龙门架3上的定子(磁板)7a和设置在涂敷头单元5上的动子(线圈)7b构成的线性马达执行器，能够相对于龙门架3使涂敷头单元5在Y轴方向移动。Z轴移动机构8由伺服马达构成，能够相对于龙门架3使涂敷头单元5在Z轴方向移动。S卩、涂敷头单元5 (涂敷头4、后述的喷嘴4a)能够通过X轴移动机构6在X轴方向移动，通过Y轴移动机构7在Y轴方向移动，通过Z轴移动机构8在Z轴方向移动。另外，X轴移动机构6、Y轴移动机构7以及Z轴移动机构8由控制部50控制。设置具有多个涂敷头4的涂敷头单元5。为了确保将定向膜材料排出的喷嘴的间距的连续性，设置多个涂敷头4。在图I所示的例子中，图示了在涂敷头单元5上沿Y轴方向将四个涂敷头4配置成一列，该涂敷头4的列在X轴方向配置3列的情况。再有，相对于一个涂敷头4排出定向膜材料的喷嘴(未图示出)沿Y轴方向成一列配置多个，该喷嘴的列配置有多列(未图示出)。另外，涂敷头4是利用压电元件等从喷嘴高精度地排出少量的液滴的喷墨头。另外,控制部50能够按照每个涂敷头4的各喷嘴控制定向膜材料排出的有无、时间、排出的定向膜材料的量。图2是说明龙门架3的背面侧的构造的结构示意图。另外，在图2中，省略X轴移动机构6的动子6b、Y轴移动机构7、Z轴移动机构8来表示。如图2所示，被配置在龙门架3的去路侧(图I的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜形成装置，所述薄膜形成装置具备吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架，其特征在于，上述龙门架还具备将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：德安良纪，山本英明，渡濑直树，松井淳一，中村秀男，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：