一种超大口径石英玻璃管的制造方法技术

一种超大口径石英玻璃管的制造方法，制作时通过连熔法生产方式先一步成型为大口径抗高温变形石英玻璃母管，再进行扩管成型，在扩管时，通过调整离心阀尺寸，石英管的成型尺寸可逐步扩大；在扩管过程中，经微调离心阀，即可生产出Φ520mm、壁厚5mm以上各种不同规格的超大口径石英玻璃管，而且产品的质量稳定，可抗1300℃~1500℃的高温，变形率＜3%，良品率在现有的基础上提高了15％左右。本发明专利技术可用于12英寸以上超大规模集成电路硅片高温扩散反应容器中，且可重复使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种石英玻璃管的生产方法，特别是。
技术介绍
目前国内生产石英玻璃管，均采用常规的气炼、电熔一步法，所使用的钨坩锅口径较小、连熔炉热熔总量较低，所出产品含气泡、气线密度高，尺寸公差较大，不能满足生产Φ520mm以上超大口径石英玻璃管的技术需求。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提出了一种生产效率高、产品质量稳定的超大口径石英玻璃管的制造方法。·本专利技术要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，，其特点是，其步骤如下(I)连熔法生产石英玻璃母管将纯度为99. 998%的石英砂原料投入到连熔炉的O750mm钨坩锅中进行熔炼，所述的钨坩锅的直径和长度可以根据实际需要设定，优选Φ750mm、长度2000mm，这样可以增加熔化原料的时间，以便排出熔料中的气体杂质，提高熔料的纯度，减少成型石英管的气泡气线的数量；炉内的温度保持在2000°C 2300°C，经通电熔融的石英料液高温热沉淀后，通过排气孔排出气体杂质和料液杂质后，料液进入成型器料台进行成型，所述的连熔炉内的成型器芯杆的直径Φ380ι πΓΦ410πιπι，成型器料台的直径Φ420ι πΓΦ本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超大口径石英玻璃管的制造方法，其特征在于，其步骤如下：（1）连熔法生产石英玻璃母管：将纯度为99.998％的石英砂原料投入到连熔炉的Φ750mm钨坩锅中进行熔炼，炉内的温度保持在2000℃~2300℃，经通电熔融的石英料液高温热沉淀后，通过排气孔排出气体杂质和料液杂质后，料液进入成型器料台进行成型，所述的连熔炉内的成型器芯杆的直径Φ380mm~Φ410mm,成型器料台的直径Φ420mm~Φ445mm,再经过变频控制的牵引机向下拉制成型，得到Φ320mm~Φ480mm、壁厚10？mm的大口径的石英玻璃母管；（2）扩管成型：将石英玻璃母管的两端分别装夹在二次成型机的左、右卡头上，控制成型机中间...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：成士林，
申请(专利权)人：连云港市东海县宏伟石英制品有限公司，
类型：发明
国别省市：