石英坩埚加热涂层包装一体机制造技术

本发明专利技术公开了一种石英坩埚加热涂层包装一体机，包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间，加热间内设置有红外线加热管和用于恒定温度的温度感应器，所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间，涂层间内设置有可自动升降的旋转接头和喷嘴，所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机、链轮、链条和传送带，所述链轮与链条连接，传送带安装在链条上。本发明专利技术设备可以有效的对石英坩埚进行加热，涂层并包装入库，大大节省了人工，提高工作效率，也有效的解决了坩埚涂层粉末粘结不牢的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种石英坩埚涂层包装自动化的设备，具体涉及一种石英坩埚加热涂层包装一体机。
技术介绍
作为拉制单晶硅时，在单晶硅上形成位错的一个原因，是石英坩埚的内表面上析出的方石英石会释放到硅熔融液中。作为对策，已知有在坩埚内表面上涂布结晶化促进剂， 使坩埚内表面早期形成结晶化的方法，在这些方法中，在石英坩埚表面上涂布氢氧化钡溶液，氢氧化钡与空气中的二氧化碳反应，使生成的碳酸钡沉淀在坩埚表面上，将其干燥，则附着在坩埚表面上，然而以前表面处理的石英坩埚存在如下问题，需要解决(I)以前附着在石英坩埚上的碳酸钡粉末，由于没有用粘合剂固着，所以附着力非常弱。因此，制品检查和搬运，向盛放袋中装入等制造方面的作业工序中，坩埚表面的碳酸钡粉很容易剥落下来。处理器具和操作员触及时也会剥落，成为斑点形成不均匀的附着状态。进而，打开盛放袋时， 碳酸钡粉飞扬，对操作员的健康造成危害；(2)由于碳酸钡粉只是附着在表面上，所以附着力很弱，形成结晶核的效率很低，很容易形成碳酸钡附着量过剩
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种石英坩埚加热涂层包装一体机，解决了石英坩埚表面改质问题。本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英坩埚加热涂层包装一体机，其特征在于：包括石英坩埚的传输系统、以及按传输方向依次设有的加热系统、喷涂系统和包装系统；所述加热系统包括一个可密闭的加热间（1），加热间（1）内设置有红外线加热管（3）和用于恒定温度的温度感应器（4），所述喷涂系统包括一个可密闭的涂层间（2），涂层间（2）内设置有可自动升降的旋转接头（5）和喷嘴（6），所述包装系统由置于石英坩埚上方和侧方的负压吸附机械手（7）组成，所述传输系统包括作为动力源的伺服电机（8）、链轮（9）、链条（10）和传送带（11），所述链轮（9）与链条（10）连接，传送带（11）安装在链条（10）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邵天聪，金军，
申请(专利权)人：江苏华尔光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：