【技术实现步骤摘要】
—种石英坩埚外形尺寸检测装置
本技术属于测试仪器，尤其涉及石英坩埚外形尺寸自动检测设备。
技术介绍
目前石英坩埚生产工艺流程中，坩埚检测有人工完成，主要缺点人工操作误差大，测量精度不高，记录过程误操作率高；劳动强度大，搬运给坩埚品质造成很大影响。
技术实现思路
专利技术目的针对上述现有存在的问题和不足，本技术的目的是提供了一种高效自动的石英坩埚外形尺寸检测装置。技术方案为实现上述专利技术目的，本技术采用以下技术方案一种石英坩埚外形尺寸检测装置，包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定机构、传送带和PLC控制系统，其中所述传送带用于传送石英坩埚；所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度；所述激光测微仪，用于测量石英坩埚的外径、壁厚、弧厚和底厚；所述PLC控制系统分别接收激光位移传感器和激光测微仪的测量数据，并控制机械手定位机构进行定位，同时控制传送带输送下一个待测石英坩埚，控制激光位移传感器和激光测微仪进行测量。作为优选，所述PLC控制系统采用西门子S7-300系列PLC控制系统。作为优选，所述激光测微仪同时设有弧厚测量点、底厚测量点、外径测量点和壁厚测量点。有益效果与现有技术相比，本技术具有以下优点1.全部控制过程由PLC控制完成，提高效率和安全性。2.整个控制过程中的信号可以通过PLC采集到HMI画面，方便操作控制和设备维护。3.测量由高精度激光位移传感器和激光测微仪完成，精度高，误差控制在ΙΟμπι。4.传送带传送点由光电开关精确定位，保证了测量的精度。5.机械手定位装置得三维空间的定位精确，可以保证各个测量点的立体空间的准...
【技术保护点】
一种石英坩埚外形尺寸检测装置，其特征在于：包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定位机构、传送带和PLC控制系统，其中：所述传送带用于传送石英坩埚；所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度；所述激光测微仪，用于测量石英坩埚的外径、壁厚、弧厚和底厚；所述PLC控制系统分别接收激光位移传感器和激光测微仪的测量数据，并控制机械手定位机构进行定位，同时控制传送带输送下一个待测石英坩埚，控制激光位移传感器和激光测微仪进行测量。
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚外形尺寸检测装置，其特征在于包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定位机构、传送带和PLC控制系统，其中 所述传送带用于传送石英坩埚； 所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度； 所述激光测微仪，用于测量石英坩埚的外径、壁厚、弧厚和底厚； 所述PLC控制系统分别接收激光位移传感器和激光测微仪的测量数据，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宝昌，刘福鸿，刘爱军，冯涛，
申请(专利权)人：江苏华尔光电材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。