【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种测量非球面面形尤其是大口径非球面面形的方法。
技术介绍
对于中低精度的非球面元件和高精度光学非球面加工过程的检验，利用三坐标测 量仪对其进行轮廓测量，一直是一种最常用和实用的方法。该方法通过测量非球面表面相 对某一测量基准的绝对矢高，然后通过计算机软件与理论值相比较，获得绝对矢高相对于 理论矢高的偏差，通过计算机软件进行误差分析、数据拟合等计算可以获得非球面面形误 差分布。但是该方法受三坐标测量仪测试范围的限制，对于中小口径的非球面，其外形尺 寸一般在三坐标测量仪的检测范围以内，能够直接完成对其面形的测量，但对于尺寸超过 三坐标测量仪的大口径非球面的测量，三坐标测量仪却无法实现。
技术实现思路
本专利技术为解决现有对大口径非球面的检测无法采用三坐标测量仪实现检测的问 题，提供一种采用坐标测量仪拼接测量大口径非球面面形的方法。，该方法由以下步骤实现步骤一、对被检测大口径非球面的尺寸进行划分，获得多个子孔径；所述多个子孔 径在三坐标测量仪的检测范围内，相邻子孔径有四分之一的区域为重合区域；步骤二、采用三坐标测量仪检测并采集子孔径区域的面形数据，并在该子...
【技术保护点】
采用三坐标测量仪拼接测量大口径非球面面形的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、对被检测大口径非球面的尺寸进行划分，获得多个子孔径；所述多个子孔径在三坐标测量仪的检测范围内，相邻子孔径有四分之一的区域为重叠区域；?步骤二、采用三坐标测量仪检测并采集子孔径区域的面形数据，并在该子孔径区域与相邻的另一个子孔径区域的重叠区域贴上三个靶标，采用三坐标测量仪测定三个靶标的数据；步骤三、调整被检测大口径非球面的位置，使三坐标测量仪能够检测到另一个子孔径区域的面形数据；采用三坐标测量仪测定三个靶标的数据；移去三个靶标，三坐标测量仪获得另一个子孔径区域的面形数据；步骤四、判断是否是...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王孝坤，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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