用于外形尺寸的光学测量方法和测量装置制造方法及图纸

技术编号:15703835 阅读:175 留言:0更新日期:2017-06-26 04:02
本发明专利技术公开了用于外形尺寸的光学测量方法和测量装置。光发射器和反射器布置为使得测量光束的光轴和反射光束的光轴相交,并且测量光束和反射光束形成在同一个虚拟测量平面内;在测量光束中限定第一测量光束和第二测量光束;在反射光束中限定第一和第二反射光束;被测物体被置于测量平面内的测量区中,第一和第二测量光束在该测量区中交叠;根据显现在第一反射光束中的阴影测量被测物体的第一方向上的外径,并根据显现在第二反射光束中的阴影测量被测物体的第二方向上的外径。

Optical measuring method and measuring device for shape size

An optical measuring method and a measuring device for an outline dimension are disclosed. A light emitter and a reflector is arranged such that the optical axis of the measuring beam and the optical axis of the reflected beam intersect, and the measuring beam and the reflected beam is formed in the same virtual measuring plane; defining a first measuring beam and second measuring beam in the measuring beam; in the reflected beam in the first and second limit the reflected beam; the measured object is placed in the the measurement area in the plane, the first and second in the measurement area in the measuring beam overlap; according to the first appeared in the first direction shadow measuring reflected beam of the detected objects on the outside, and on the basis of second measurements in second direction show shadow reflected beam of the detected objects on the outside.

【技术实现步骤摘要】
用于外形尺寸的光学测量方法和测量装置相关申请引用本专利申请根据35U.S.C.§119的规定要求于2015年12月15日提交的日本专利申请2015-244239的优先权,该专利申请的公开内容通过完整引用结合在此。
本专利技术涉及一种用于外形尺寸的光学测量方法和测量装置,尤其涉及一种同时沿多个方向测量被测物体的外径的方法和装置。
技术介绍
光学测量装置用于对被测物体的外形尺寸(例如圆柱体的外径)进行非接触测量。例如,使用激光扫描测微计、图像传感器测微计或光切型二维(2D)形状测量传感器。这些装置使用布置为带状的平行激光束或以带状平行扫描的激光束等根据由被测物体遮挡的阴影部分的尺寸检测被测物体的外径(参见日本专利公告2001-108413等)。如图5所示,在激光扫描测微计90中,由光发射器91形成带状激光束B,使用光接收器92接收光束B。当在光束B的路径中间放置具有圆柱等形状的被测物体99时,光束B的一部分由被测物体99遮挡,并在被测物体99的后面形成阴影区BW。在光接收器92中,可通过检测在光束B下产生的阴影区BW的长度来测量被测物体99的外径D1。当必须同时沿多个方向测量被测物体99本文档来自技高网...
用于外形尺寸的光学测量方法和测量装置

【技术保护点】
一种用于测量被测物体的外形尺寸的光学测量方法,该方法包括:提供发射由平行光束构成的带状测量光束的光发射器,其中在该测量光束中至少限定主测量光束和次测量光束;提供反射测量光束并形成反射光束的反射器,其中在反射光束中至少限定主反射光束和次反射光束,所述主反射光束是主测量光束的反射光,所述次反射光束是次测量光束的反射光;提供接收反射光束的光接收器;将光发射器和反射器布置为使得测量光束的光轴和反射光束的光轴相交;在同一个测量平面内形成测量光束和反射光束;将被测物体置于测量平面内的测量区中,主测量光束和次反射光束在该测量区中交叠;根据显现在主反射光束中的被测物体的阴影测量被测物体的主方向上的外形尺寸;和...

【技术特征摘要】
2015.12.15 JP 2015-2442391.一种用于测量被测物体的外形尺寸的光学测量方法,该方法包括:提供发射由平行光束构成的带状测量光束的光发射器,其中在该测量光束中至少限定主测量光束和次测量光束;提供反射测量光束并形成反射光束的反射器,其中在反射光束中至少限定主反射光束和次反射光束,所述主反射光束是主测量光束的反射光,所述次反射光束是次测量光束的反射光;提供接收反射光束的光接收器;将光发射器和反射器布置为使得测量光束的光轴和反射光束的光轴相交;在同一个测量平面内形成测量光束和反射光束;将被测物体置于测量平面内的测量区中,主测量光束和次反射光束在该测量区中交叠;根据显现在主反射光束中的被测物体的...

【专利技术属性】
技术研发人员:三木豊
申请(专利权)人:株式会社三丰
类型:发明
国别省市:日本,JP

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