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本实用新型公开了一种石英坩埚外形尺寸检测装置，包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定位机构、传送带和PLC控制系统，其中：所述传送带用于传送石英坩埚；所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度；所述激光测微仪，用于测...
该专利属于江苏华尔光电材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏华尔光电材料股份有限公司授权不得商用。

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