基板供给装置制造方法及图纸

一种基板供给装置（1），能在短时间内更换基板，其包括：多个臂部（4），这些臂部（4）设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台（6），这些小平台（6）分别被支承成与臂部（4）之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台（7），该主平台（7）利用臂部（4）的旋转及升降来载置小平台（6），且包括在游隙的范围内对小平台（6）进行定位并保持的平台保持机构（9、10）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于将基板供给至加工基板的装置及将其从中排出的基板供给>J-U ρ α装直。
技术介绍
在平板显示面板的制造等中，具有使用金属型涂料机对玻璃基板进行涂覆的工序。为了在基板上形成厚度均匀的涂膜，需要将基板准确地定位保持并使模头移动，以将基·板与模头的间隙保持均匀。因此，如日本专利特开2002 - 200450号公报所公开的那样，一般使用在对基板进行保持的平台上固定有用于使模头移动的导轨的装置。此外，为了在这种平台上配置及排出(更换)基板，例如，如日本专利特开平5 —45641号公报所公开的那样，设置有利用从平台突出的销来将基板举起，并将机器人的臂部伸入来将基板取出的结构。但是，若为了缩短涂覆周期，而在涂布了涂料之后立即用销将基板举起，则由于基板挠曲，而使涂料在流动至凹陷部分的状态下干燥，因此，会使膜厚变得不均匀。因此，由于缩短基板的涂覆周期会牺牲膜厚的均匀性，因此，无法提高制造能力。在日本专利特开2002 - 102771号公报中，公开了一种在很大的平台上设置两个载置基板的工位，并将金属涂料机配置成能在两个工位上移动的装置。在这种装置中，只要在一方的工位上涂覆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板供给装置，其特征在于，包括：多个臂部，这些臂部设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台，这些小平台分别被支承成与所述臂部之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台，该主平台利用所述臂部的旋转及升降来载置所述小平台，且包括在所述游隙的范围内对所述小平台进行定位并保持的平台保持机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西尾勤，魏志丹，横山雅树，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：