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一种基板供给装置（1），能在短时间内更换基板，其包括：多个臂部（4），这些臂部（4）设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台（6），这些小平台（6）分别被支承成与臂部（4）之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平...
该专利属于中外炉工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过中外炉工业株式会社授权不得商用。

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