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本发明公开了一种用于石英坩埚氢氧化钡涂层装置的喷雾系统，包括药液循环加热机构、氮气保护机构、供液机构和二氧化碳供应机构。本发明采用氮气作为保护气体，可保证氢氧化钡溶液不与空气中的二氧化碳反应，不会混入其他杂质，使喷涂时为纯氢氧化钡溶液，避免...
该专利属于江苏华尔光电材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏华尔光电材料股份有限公司授权不得商用。

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