【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
硅片冲洗脱胶架，其特征在于：包括工作台、冲洗脱胶架、进出水管道和控制阀，所述的工作台上设有若干冲洗区，每个冲洗区设有冲洗脱胶架、进水管道、喷头和控制阀，所述的冲洗脱胶架由对称的支架构成，支架上设有水平滑槽。
【技术特征摘要】
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