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本发明涉及一种硅片冲洗脱胶架。包括工作台、冲洗脱胶架、进出水管道和控制阀，所述的工作台上设有若干冲洗区，每个冲洗区设有冲洗脱胶架、进水管道、喷头和控制阀，所述的冲洗脱胶架由对称的支架构成，支架上设有水平滑槽。本发明按结构分类可分为四工位和六...
该专利属于丁国发所有，仅供学习研究参考，未经过丁国发授权不得商用。

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