【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及人工晶体生长领域，特别涉及一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉。技术背景 我国人工晶体生长产业经过半个多世纪的发展，取得了巨大的成就，已具有较高的技术水平和较大的生产能力，在国际上具有一席之地。与之配套的晶体生长设备——单晶炉也得到飞速的发展，目前提拉法单晶炉的发展趋势是采用上称重法自动直径控制技术（auto-diameter control: ADC）智能化控制，可实现晶体生长过程的自动法控制，大大节省人力，同时晶体质量的均一性也得到提高，大大地推动了人工晶体产业的发展。但是传统的自动法单晶炉炉膛装置一般采用的是SS304或SS316L优质不锈钢材料，炉膛内壁采用双面焊接工艺，由于整个炉膛需要通水冷却，炉膛的设计构造非常复杂，体积庞大，搬运安装不便，价格十分昂贵。另外，传统的自动法单晶炉生产周期较长，非常不利于晶体行业的快速发展。石英玻璃具有以下特点：1、耐高温 石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间最高使用温度可达1450℃， 2、耐腐蚀除氢氟酸外，石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应，其耐酸能力是陶瓷的30倍，不锈钢的150倍，尤其是在高温下的化学稳定性，是其他任何工程材料都无法比拟的。3、热稳定性好，石英玻璃的热膨胀系数极小，能承受剧烈的温度变化，将石英玻璃加热至1100℃左右，放入常温水中也不会炸裂。 4、透光性能好 石英玻璃在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能，可见光透过率在93%以上，特别是在紫外光谱区，最大透过率可达80以上。...
【技术保护点】
一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉，包括一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉，包括由内外层石英管和上下法兰构成的双层石英管密封炉膛，中频感应线圈装置，坩埚升降机构和称重传感器，其特征在于：所述内层石英管的内腔可抽真空或者充气保护体防止坩埚高温氧化，所述内外层石英管之间可以通水或通气冷却。
【技术特征摘要】
1.一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉，包括一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉，包括由内外层石英管和上下法兰构成的双层石英管密封炉膛，中频感应线圈装...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾宪林，吴少凡，郑熠，
申请(专利权)人：福建福晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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