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本发明公开一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉，包括由内外层石英管和上下法兰构成的双层石英管密封炉膛，中频感应线圈装置，坩埚升降机构和称重传感器，所述内层石英管的内腔可抽真空或者充气保护体防止坩埚高温氧化，所述内外层石英管之间可以通水或通气冷...
该专利属于福建福晶科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建福晶科技股份有限公司授权不得商用。

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