带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座。该设备包括隔离阀座和设于隔离阀座内的翻板阀，翻板阀连接于操作杆；还包括气缸及电磁换向阀；所述隔离阀座外侧设气缸支点，气缸的无杆侧端盖通过气缸基座和调节座连接于气缸支点，气缸活塞杆的端部通过关节轴承连接至操作杆；在气缸的无杆侧设有上节流阀，另一侧设有下节流阀，上节流阀和下节流阀分别通过上气管和下气管连接至电磁换向阀，电磁换向阀上设总进气管和排气口。本实用新型专利技术通过对传统翻板阀增加气动执行装置，使得操作方便，实现自动化。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及直拉硅单晶炉设备，主要用于隔离阀板开关实现自动操作，动力源为压缩空气。
技术介绍
直拉硅单晶炉中段设有一个隔离阀座，隔离阀座内设有翻板阀，主要用于隔离主炉室和副炉室，实现两个炉室不同的工作要求。传统的翻板阀主要是通过操纵杆手动控制打开和关闭，操作不方便，为了解决这方面的不足，本专利在原有翻板阀的基础上增加一套气动执行装置，使其实现自动化
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座。为解决技术问题，本技术的方案是提供一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座，包括隔离阀座和设于隔离阀座内的翻板阀，翻板阀连接于操作杆；还包括气缸及电磁换向阀；所述隔离阀座外侧设气缸支点，气缸的无杆侧端盖通过气缸基座和调节座连接于气缸支点，气缸活塞杆的端部通过关节轴承连接至操作杆；在气缸的无杆侧设有上节流阀，另一侧设有下节流阀，上节流阀和下节流阀分别通过上气管和下气管连接至电磁换向阀，电磁换向阀上设总进气管和排气□。作为一种改进，所述翻板阀的操作杆上设有用于传达气缸位置信息的滚珠开关。作为一种改进，所述调节座和气缸基座上分别设有用于活动调节的弧形开槽，调节座通过螺钉与气缸支点连接，气缸基座通过螺钉与调节座连接。作为一种改进，所述操纵杆设有一条开圆孔的槽，用于固定夹紧翻板阀轴。作为一种改进，所述翻板阀的翻转角度在O 120°之间。本技术的有益效果是通过对传统翻板阀增加气动执行装置，使得操作方便，实现自动化。附图说明图I为气动翻板阀关闭时的示意图；图2为图I的左侧视图；图3为气动翻板阀打开时的示意图；图4为图3的左侧视图。附图标记1隔离阀座，2气缸，3上节流阀，4上气管，5电磁换向阀，6总进气管，7下气管，8下节流阀，9操纵杆，10关节轴承，11翻板阀，12滚珠开关，13气缸支点，14调节座，15气缸基座。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细表述。本技术中带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座，包括隔离阀座I和设于隔离阀座I内的翻板阀11，翻板阀11的翻转角度在O 120°之间；翻板阀11连接于操作杆9，操作杆9上设有用于传达气缸位置信息的滚珠开关12，操纵杆设有一条开圆孔的槽，用于固定夹紧翻板阀轴。气动执行装置还包括气缸2及电磁换向阀5，电磁换向阀5通过控制进出气流的交换，达到活塞杆伸缩的效果。所述隔离阀座I外侧设气缸支点13，气缸2的无杆侧端盖通过气缸基座15和调节座14连接于气缸支点13，气缸活塞杆的端部通过关节轴承10连接至操作杆9，气缸通过活塞杆的伸缩来控制操纵杆9的摆动，执行翻板阀11的打开和关闭；在气缸2的无杆侧设有上节流阀3，另一侧设有下节流阀8，上节流阀3和下节流阀8分别通过上气管4和下气管7连接至电磁换向阀5，电磁换向阀5上设总进气管6和排气口。各节流阀与气缸2螺纹密封连接，通过管路与电磁换向阀5连接，可以用来调节翻板阀11打开和关闭的速度快慢。调节座14和气缸基座15上分别设有用于活动调节的弧形开槽，调节座14通过螺钉与气缸支点13连接，气缸基座15通过螺钉与调节座14连接。在安装时，可以用调节座14和气缸基座15调节合适支点位置；执行翻板阀11打开和关闭动作时可利用气缸2、关节轴承10、操纵杆9与翻板阀11的联动力传递实现；控制翻板阀11的运动快慢可通过调节上节流阀3和下节流阀8实现；控制翻板阀11打开或关闭可通过控制电磁换向阀实现；滚珠开关12用于传达气缸的位置信息，并指示翻板阀打开关闭。用于隔离阀座实现气动翻板的装置使用方法包括需要对主炉室和副炉室进行隔离时，需要关闭翻板阀11，首先由滚珠开关12将气缸的位置信息反馈给控制柜，判断翻板阀11是打开状态还是关闭状态，确定是打开状态时，指示可以进行翻板阀11的关闭操作，气体从总进气管6进入，气压大于O. 7MPa,气体进过电磁换向阀5，使气流从上气管4进，再经过上节流阀3到达气缸2上端，使气杆向下运动通过关节轴承10推动操纵杆9从而使翻板阀11从打开状态向下运动，实现关闭状态。气杆向下运动的同时，气缸2下端的气体通过下节流阀8再经过下气管7从电磁换向阀5处排出。需要打开翻板阀11时，首先由滚珠开关12将气缸的位置信息反馈给控制柜，判断翻板阀11是打开状态还是关闭状态，确定是关闭状态时，指示可以进行翻板阀11的打开操作，气体从总进气管6进入，气压大于O. 7MPa,气体进过电磁换向阀5，使气流从下气管7进，再经过下节流阀8到达气缸2下端，使气杆向上运动通过关节轴承10提升操纵杆9从而使翻板阀11从关闭状态向上运动，实现打开状态。气杆向上运动的同时，气缸2上端的气体通过上节流阀3再经过上气管4从电磁换向阀5处排出。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座，包括隔离阀座和设于隔离阀座内的翻板阀，翻板阀连接于操作杆；其特征在于，还包括气缸及电磁换向阀；所述隔离阀座外侧设气缸支点，气缸的无杆侧端盖通过气缸基座和调节座连接于气缸支点，气缸活塞杆的端部通过关节轴承连接至操作杆；在气缸的无杆侧设有上节流阀，另一侧设有下节流阀，上节流阀和下节流阀分别通过上气管和下气管连接至电磁换向阀，电磁换向阀上设总进气管和排气口。

【技术特征摘要】
1.一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座，包括隔离阀座和设于隔离阀座内的翻板阀，翻板阀连接于操作杆；其特征在于，还包括气缸及电磁换向阀；所述隔离阀座外侧设气缸支点，气缸的无杆侧端盖通过气缸基座和调节座连接于气缸支点，气缸活塞杆的端部通过关节轴承连接至操作杆；在气缸的无杆侧设有上节流阀，另一侧设有下节流阀，上节流阀和下节流阀分别通过上气管和下气管连接至电磁换向阀，电磁换向阀上设总进气管和排气口。2.根据权利要求I所述的隔离...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，王巍，孙明，郭建宇，周建灿，
申请(专利权)人：杭州慧翔电液技术开发有限公司，浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：