一种深紫外氟化镁晶体生长方法技术

技术编号:8319526 阅读:408 留言:0更新日期:2013-02-13 18:36
一种深紫外氟化镁晶体生长方法,它涉及单晶生长技术领域。它包括步骤为:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。本发明专利技术生长晶体完整性好,无气泡无包络物,晶体尺寸大,不易开裂,紫外波段透过率高,成品率高,工艺设备简单,能耗低,有利于实现工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶生长
,尤其涉及。
技术介绍
紫外级氟化镁单晶具有较宽的透过范围和高的透过率,有一定的双折射系数,可用于光纤通信领域和制作光学棱镜、透镜和窗口等光学元件,大尺寸紫外级氟化镁单晶广泛应用于激光、红外、紫外光学、高能探测、光通讯系统以及军工领域,目前行业内一般采用坩埚下降法制取,通过电阻加热,熔化在坩埚内的混合原料,通过下种,缩颈,等径等操作,生长出一定方向的晶体,但是用坩埚下降法制取的氟化镁晶体生长完整性差、尺寸小,紫外 波段透过率低,且成品率低,难以实现工业化生产。
技术实现思路
本专利技术是为了克服
技术介绍
所存在的不足之处,提出一种生长晶体完整性好,无气泡无包络物,晶体尺寸大,成品率高的深紫外氟化镁生长晶体方法。本专利技术提出的,包括以下步骤将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入钼坩埚;将钼坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。所述的MgF2和ZnF2的纯度均〉99. 99 %。所述的MgF2和ZnF2摩尔比为I O. 02。所述的钼坩埚放入单晶炉后先在700-800°C中处理2小时。所述的钼坩埚厚度为1-1. 2mm。所述的种晶为方向的MgF2单晶。所述的采用开放式提拉法生长深紫外氟化镁时,炉温控制在900-120(TC,生长温度梯度在60-90°C /cm,上升速度I. 8mm/h。本专利技术的有益效果是本专利技术与现有技术相比,生长晶体完整性好,无气泡无包络物,晶体尺寸大,不易开裂,紫外波段透过率高,成品率高,工艺设备简单,能耗低,有利于实现工业化生产。附图说明图I为本专利技术的工艺流程示意图。具体实施例方式参照图1,为本专利技术的工艺流程示意图。实施例I :本实施例按如下步骤进行I、将纯度大于99. 99%,摩尔比为I : O. 02的MgF2和ZnF2粉体混合后与方向的MgF2单晶放入到厚度为Imm的钼坩埚中。2、将钼坩埚放入单晶炉中,升温至700°C持续2小时,使脱O2生成的ZnO挥发干净,然后将单晶炉内通入氮气,再继续升温至原料完全熔化。3、当原料完全熔化后,将炉温控制在900°C,然后用MgF2单晶以10cm/h的速度下种、生长温度梯度为60°C /cm、上升速度I. 8mm/h的开放式提拉法生长深紫外氟化镁,生长周期5天得到深紫外氟化镁晶体。经测得晶体莫氏硬度为6,杨氏模量为138. 8Gp,密度为3. 18g/cm3,热膨胀系数为 14. 1X10_6/K (//C),9· 12Χ10_6/Κ(丄 C),O. 11-7 μ m 波段的透过率为 90. 8% .实施例2 :本实施例按如下步骤进行I、将纯度大于99. 99%,摩尔比为I O. 02的MgF2和ZnF2粉体混合后与方向的MgF2单晶放入到厚度为I. 2mm的钼坩埚中。 2、将钼坩埚放入单晶炉中,升温至800°C持续2小时,使脱O2生成的ZnO挥发干净,然后将单晶炉内通入氮气,再继续升温至原料完全熔化。3、当原料完全熔化后,将炉温控制在1200°C,然后用MgF2单晶以10cm/h的速度下种、生长温度梯度为90°C /cm、上升速度I. 8mm/h的开放式提拉法生长深紫外氟化镁,生长周期5天得到深紫外氟化镁晶体。经测得晶体莫氏硬度为6,杨氏模量为138. 5Gp,密度为3. 18g/cm3,热膨胀系数为 14. 3X10_6/K (//C),9· 15Χ10_6/Κ(丄 C),O. 11-7 μ m 波段的透过率达 92%。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种深紫外氟化镁晶体生长方法,包括以下步骤:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。

【技术特征摘要】
1.一种深紫外氟化镁晶体生长方法,包括以下步骤将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入钼坩埚;将钼坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。2.根据权利要求I所述的方法,其特征在于,所述的MgF2和ZnF2的纯度均〉99.99%。3.根据权利要求I所述的方法,其特征在于,所述的MgF2和ZnF2摩尔比为I: 0.02。4.根据权利要求I所述的方法,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:王冬胡卫东
申请(专利权)人:合肥嘉东科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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