【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶体生长
，尤其涉及一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置。
技术介绍
目前晶体生长炉，尤其上称重提拉法晶体生长炉都离不开一个重要系统—籽晶杆系统，如图所示：从上端称重头的上端开始到籽晶杆下部末端的多段材料连接而成，为籽晶杆系统，至少包含称重头、籽晶杆、籽晶、生长的晶体等多个部分。籽晶杆系统上端固定，下端悬挂籽晶和晶体。晶体生长炉中籽晶杆系统在晶体生长的过程中存在两个问题：（一）晃动：籽晶杆系统长度较长且直径又较小，轻微的震动容易引起籽晶杆杆的晃动，从而造成晶体的晃动。因籽晶杆系统末端无阻尼，晃动发生后维持时间长，影响晶体内部结构，对晶体生长质量极为不利。随着晶体重量的逐渐增加，轻微的晃动甚至会造成籽晶断裂，造成严重损失。（二）籽晶杆下端点画圈：在籽晶杆系统中，有籽晶杆系统的物理轴线、称重头到坩埚中心的连线（简称坩埚中心线），晶体生产全程中，两线应尽可能重合并与地心引力线平行。由于籽晶杆系统是多段材料连接组成，加工、装配、调试等技术原因，各段轴线会存在同轴度误差，各段轴线的连线还会发生弯曲，与地...
【技术保护点】
一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置，包括晶体生长炉的称重头、滑块和籽晶杆，其特征在于：所述装置包括活动球头结构、支撑盘结构和连接结构，活动球头结构位于籽晶杆上端，将称重头和籽晶杆连接；支撑盘结构设于滑块内，位于籽晶杆中下端；连接结构位于籽晶杆下端，设有籽晶杆接头和提拉杆接头，籽晶杆接头安装在籽晶杆上，籽晶杆接头下端与提拉杆接头相连接。
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置，包括晶体生长炉的称重头、滑块和籽晶杆，其特征在于：所述装置包括活动球头结构、支撑盘结构和连接结构，活动球头结构位于籽晶杆上端，将称重头和籽晶杆连接；支撑盘结构设于滑块内，位于籽晶杆中下端；连接结构位于籽晶杆下端，设有籽晶杆接头和提拉杆接头，籽晶杆接头安装在籽晶杆上，籽晶杆接头下端与提拉杆接头相连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置，其特征在于：所述支撑盘结构由静止座和活动盘组成，静止座固定安装在滑块内，活动盘安装在静止座上，所述活动盘设有定盘和动盘，动盘安装在籽晶杆上，定盘安装在静止座上，动盘在定盘内旋转。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚世均，
申请(专利权)人：成都东骏激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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