籽晶悬挂构件和晶体生长装置制造方法及图纸

本申请提供一种籽晶悬挂构件和晶体生长装置，涉及半导体加工技术领域。籽晶悬挂构件用于定位籽晶杆，其包括籽晶夹头和防脱凸起，籽晶夹头设置有定位卡槽和定位缺口，定位卡槽具有相对的第一槽壁和第二槽壁，定位缺口贯穿第一槽壁并连通定位卡槽；防脱凸起安装于第一槽壁上且位于定位缺口的上方，防脱凸起与定位卡槽的槽底壁具有间距以形成夹持空间；夹持空间用于容纳籽晶杆，防脱凸起用于与放置于夹持空间中的籽晶杆抵接，以限制籽晶杆从定位卡槽的槽口脱出。该籽晶悬挂构件结构简单，使用方便，与籽晶杆的配合紧密，利于晶体生长。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工，具体而言，涉及一种籽晶悬挂构件和晶体生长装置。

技术介绍

1、熔体提拉法生长晶体需要用到定向籽晶作为种子，生长出具有一定晶向的晶体，以满足产品性能需要。晶体材料多为高温熔体生长，目前，一般籽晶连接方式为将籽晶磨圆后开横槽，然后插入开有横向穿孔的铱圆管中，横槽和横向穿孔对准后插入铱丝，这样使籽晶与铱管连接在一起，请参考附图1，其中，001代表铱管，002代表籽晶。

2、经专利技术人研究发现，现有技术的籽晶生长装置至少存在如下缺点：

3、由于铱管和籽晶杆体属于硬连接，籽晶杆体与铱管之间的间隙过大易导致籽晶杆体晃动，且同心难以保证，若二者的间隙过小，造成籽晶受热膨胀难以取出，严重时挤碎籽晶，导致晶体掉落熔体中，造成不可挽回的损失。另外，现有技术中籽晶杆体同心难以调整，全靠铱丝与间隙的配合修正。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种籽晶悬挂构件和晶体生长装置，其能够简化结构，降低装配难度，提高装配效率，提高装配质量，提高籽晶生长的质量。

<p>2、本技术的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种籽晶悬挂构件，用于定位籽晶杆(300)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

7.一种晶体生长装置，其特征在于，其包括：

8.根据权利要求7所述的晶体生长装置，其特征在于：

9.根据权利要求8所述的晶体生长装置，其特征在于：p>

10.根据...

【技术特征摘要】

1.一种籽晶悬挂构件，用于定位籽晶杆(300)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的籽晶悬挂构件，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张永珍，黄小林，
申请(专利权)人：成都东骏激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：